Sistemas microeletromecânicos (MEMS)

Sistemas microeletromecânicos (MEMS) se trata de uma tecnologia que pode ser definida normalmente como elementos eletromecânicos miniaturizados os quais são usualmente fabricados com substrato de Si e confeccionados através de fotolitografia e ataque químico.
As dimensões físicas críticas de dispositivos MEMS podem variar de muito abaixo de um micrômetro, na extremidade inferior, até alguns milímetros. Interruptores micromecânicos em circuitos de comunicação para mudança de fase e comutação de sinal, micro espelhos para redirecionar a luz ou para corrigir as distorções devido a refrações de ar ou anomalias em lentes, são exemplos típicos de dispositivos MEMS. MEMS estão presentes em nossa vida diária de muitas maneiras, tais como sensores de airbags e de navegação em veículos, cabeçotes de unidade de disco, cabeças de impressão a jato de tinta, detecção de orientação em smartphones, ou marca-passos e sensores de pressão arterial.
  • O MEV é uma técnica ideal pelo qual podemos inspecionar e localizar falhas e suas causas em MEMS.
  • Alta resolução e grande profundidade de foco são as características que fazem dos MEVs da TESCAN excelentes instrumentos para observar amostras com topografia complexa, como MEMS.
  • A ultra alta resolução em baixa tensão de aceleração atingida pelo MAIA3 pode auxiliar na detecção de pequenas partículas e outros contaminantes que podem conduzir à falha do dispositivo.
  • O alto desempenho da coluna de elétrons do MIRA3 permite o exame de fissuras, rachaduras ou outros sinais de fadiga ou desgastes em MEMS em suas partes móveis ou superfícies de impacto.
  • Muitos dispositivos MEMS são empacotados de forma segura, a fim de proteger os seus elementos frágeis.
  • Ambas as plataformas MEV-FIB GAIA3 e XEIA3, as quais combinam uma coluna de elétrons com resolução ultraelevada com, respectivamente, uma coluna de íons de Ga e uma coluna de íons de plasma Xe, podem ser utilizados em combinação com o módulo AutoSlicer para desmontar MEMS, cortando automaticamente várias janelas na tampa de tais dispositivos, permitindo uma inspeção posterior com alta ampliação.
Sistemas microeletromecânicos (MEMS)
Visão geral de uma amostra de MEMS