GAIA3

O GAIA3 é a plataforma ideal para executar as aplicações em nano engenharia mais difíceis que requerem a máxima precisão e exigentes capacidades para de microanálises. A preparação de lamelas de alta qualidade e ultrafinas para MET, processos de remoção de camadas em nós de tecnologia, micro remoção precisas ou reconstruções 3D de alta resolução são apenas algumas das aplicações em que o modelo GAIA3 se destaca.

Tais características tornam o GAIA3 o instrumento ideal para aplicações nas quais imagens em baixas energias de feixe são requisitos para preservar estruturas delicadas em amostras que podem ser facilmente danificadas por feixes de elétrons, tais como materiais dielétricos de baixos fator K, foto resistentes ou amostras biológicas não revestidas. Em termos de modificação de amostra, o GAIA3 representa a solução mais adequada para os desafios em nano remoção e nano fabricação.

Principais Características

Triglav™ - recém-projetada coluna de elétrons UHR

  • Sistema de lentes objetivas TriLens™: combinação exclusiva de três lentes objetivas livre de cruzamento do feixe eletrônico
  • Avançado sistema de detecção com múltiplos detectores SE e BSE
  • Triglav™ - ultra alta resolução final em baixa energia do feixe: 1 nm a 1 keV e 0,7 nm a 15 keV
  • Sistema térmico dissipação de energia EquiPower™ para  excelente estabilidade da coluna de elétrons
  • Correntes de feixe de elétrons de até 400 nA e rápidas mudanças de energia do feixe
  • Geometria da coluna otimizada para acomodar grandes wafers de até 8”

Coluna Cobra

Coluna FIB de Ga de alto desempenho para máxima precisão em nano engenharia
  • Corrente: 1 pA 50 nA
  • Resolução: < 2.5 nm a 30 kV no ponto de coincidência MEV-FIB
  • Tecnologia de nível superior em termos de resolução, tanto para remoção quanto para imagem
  • Cobra garante o menor tempo em cortes de seções transversais e preparação de amostras MET
  • Ideal para estudos 3D ultra estruturais de amostras biológicas tais como tecidos e células inteiras
  • Excelente desempenho em baixa aceleração, ideal para polimento de lamelas ultrafinas e para reduzir camadas amorfas
GAIA3
GAIA3

Catálogo do produto

GAIA3 brochure
Extraordinary Ultra-High Resolution imaging and extremely precise nanoengineering. Download GAIA3 brochure!
pdf – 2,1 MB

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