LYRA\ je plně integrovaný systém obsahující optiku elektronového a iontového svazku. Toto uspořádání obohacuje zobrazovací možnosti rastrovacího elektronového mikroskopu (SEM) schopností modifikovat povrch vzorku pomocí fokusovaného iontového svazku(FIB).
Vlastnosti specifické pro SEM
- Unikátní čtyř-čočkový elektronově optický tubus Wide Field Optics™ umožňující funkci optického systému v různých zobrazovacích módech
- Vysoká rychlost snímání díky prvotřídním detektorů s YAG scintilátory
- Získání obrazu v excelentní kvalitě jako výsledek 16-bitového digitálního zpracování signálu
- Rychlé a snadné dosažení čistého pracovního vakua pomocí plně automatického vakuového systému
- Promyšlená konstrukce tubusu bez mechanických centrovacích prvků umožňující pohodlnou obsluhu a snadnou údržbu
- Automatizované nastavování mikroskopu a mnoho dalších automatizovaných funkcí
- Uživatelsky přívětivý software pro ovládání mikroskopu a pořizování digitálních snímků snímků ve standardních formátech a systém pro jejich archivaci, zpracování a vyhodnocování i pro náročné uživatele
- Dálkové ovládání mikroskopu s možností diagnostiky na dálku, která snižuje servisní náklady
Vlastnosti specifické pro FIB
- Unikátní, diferenciálně čerpaný, iontově optický tubus, se
2 iontovými pumpami pro ultra-nízký rozptyl iontů
- Motorizovaný výměník clon s vysokou reproducibilitou
- Beam Blanker a Faraday cup jako standardní součást
- Simultánní SEM snímání obrazu při leptání FIB nebo depozici
- Ovládání FIBu je plně integrované v ovládacím softwaru SEM
- Mocný programový modul pro tvorbu základních tvarů s programovatelnými parametry
GIS - Volitelný modul pro vstřikování plynů
- Vhodné geometrické uspořádání vzhledem k umístění SEM a FIB optických tubusů.
- 5 nezávislých plynových rezervoárů s kapilárami
- 3-osý mikroposuvník s automatickým polohováním trysek
- Automated temperature control
|
