TESCAN :: VELA FIB-SEM

VELA3 FIB-SEM  je plně integrovaný systém obsahující optiku elektronového a iontového svazku postavený na platformě VEGA s termoemisním elektronovým tubusem. Toto uspořádání obohacuje zobrazovací možnosti rastrovacího elektronového mikroskopu schopností modifikovat povrch vzorku pomocí fokusovaného iontového svazku.

Moderní optika

• Unikátní tříčočkový optický systém Wide Field Optics™ nabízející řadu zobrazovacích režimů
• Změna efektivní finální úhlové apertury elektromagnetickým způsobem prostřednictvím mezičočky IML
• Technologie In-Flight Beam Tracing™ pro optimalizaci parametrů svazku v reálném čase
• Možnost kalibrace úhlové intenzity zdroje pro velice přesné nastavení proudu svazku a velikosti stopy
• Automatizované nastavování mikroskopu a mnoho dalších automatizovaných funkcí
• Vysoká rychlost snímání
• Jedinečné stereoskopické snímání s možností 3D rekonstrukce povrchu díky technologii 3D Beam

Iontová optika

• Propracovaný systém CANION FIB s vysokým výkonem pro rychlé a přesné řezy a přípravu TEM lamel
• Volitelný systém COBRA-FIB s extrémně vysokým rozlišením jako reprezentant té nejvyšší třídy jak v rozlišení, tak ve snímání a obrábění; tubus COBRA - jeden z nejpřesnějších iontových fokusovaných svazků pro nanoinženýrství na světě

Funkce FIB

• Unikátní, diferenciálně čerpaný, iontově optický tubus, se 2 iontovými pumpami pro ultranízký rozptyl iontů
• Motorizovaný výměník clon s vysokou opakovatelností
• Beam Blanker a Faradayova klec jako standardní součást
• Simultánní SEM snímání obrazu při leptání FIB nebo depozici
• Plně integrované ovládání FIBu v ovládacím softwaru SEM
• Výkonný programový modul pro tvorbu základních tvarů s programovatelnými parametry
• Mikro- a nano- obrábění (lokální odprašování)
• Iontová litografie

Snadná údržba

Udržovat mikroskop v perfektním stavu je nyní velmi snadné, a to i při minimálních prostojích přístroje. Každý detail byl pečlivě designován tak, aby maximalizoval výkon přístroje a zároveň minimalizoval jakékoliv úsilí uživatele.

Automatizované operace

Žhavení katody a centrování pro optimalizaci parametrů svazku je prováděno automaticky jediným kliknutím. Dostupné jsou mnohé další automatizované operace, které výrazně zkracují časovou náročnost nastavování. Je také možné spouštět automatickou navigaci manipulátoru a automatizované analýzy. Vestavěný skriptovací jazyk (Python) umožňuje pohodlný přístup k většině softwarových funkcí včetně kompletní kontroly mikroskopu, manipulátoru, získávání a zpracování obrazů a jejich analýz. Skriptování dále umožní uživateli programovat další automatické procedury.

Uživatelsky přívětivý software

• Grafické uživatelské rozhraní lokalizované do mnoha jazyků
• Čtyři úrovně uživatelských oprávnění, včetně módu EasySEM^TM pro ještě rychlejší rutinní zkoumání
• Správa souborů se snímky a tvorba reportů
• Zabudovaná autodiagnostika systému
• Dálkové řízení mikroskopu v lokální i internetové síti s možností diagnostiky na dálku
• Modulární softwarová architektura pro další rozšiřování funkcí
• Základní sada rozšíření, jako je vysoce automatizovaná kontrola iontového svazku, DrawBeam, Basic pattern generátor, simultánní snímání FIB/SEM, předdefinované pracovní profily FIB, to vše jako standard
• Další volitelné moduly a dedikované aplikace optimalizované pro automatické zkoumání vzorků, jako je základní/pokročilá částicová analýza nebo 3D rekonstrukce atd.
• Softwarový modul DrawBeam pro přeměnu elektronového mikroskopu s fokusovaným iontovým svazkem ve výkonný nástroj nejen pro elektronovou litografii, ale také pro elektronickou depozici, leptaní a v neposlední řadě pak iontovou depozici a leptání
• Volitelný software 3D Tomografie pro automatické snímání prováděných řezů iontovým svazkem a následnou 3D rekonstrukci a vizualizaci vzorku