VELA3 XM
Vysoce výkonný FE SEM
Moderní elektronová optika
Automatizované analýzy
Sofistikovaný kontrolní systém
Rastrovací elektronový mikroskop VELA3 XM s wolframovou žhavenou katodou je určený pro snímání vodivých i nevodivých preparátů ve vysokém rozlišení. Systém je kombinovaný s fokusovaným svazkem iontů galia (FIB), s možností doplnění o systém pro injektáž plynů (GIS). Vynikající elektronově-optické vlastnosti, neblikavý obraz s vysokým jasem a plná automatizace jsou charakteristické vlastnosti přístroje. Důmyslný, plně lokalizovaný software pro řízení systému SEM/FIB/GIS a pořizování snímků pracující v prostředí Windows™, standardní formáty ukládaných obrázků, dokonalý systém pro archivaci, zpracování a vyhodnocování snímků, automatizované nastavování systému a mnoho dalších automatizovaných funkcí představují standardní výbavu tohoto přístroje.
Hlavní přednosti mikroskopu
- Model s komorou XM pro pohodlné zkoumání a uložení vzorku díky plně motorizovanému pětiosému manipulátoru a ideální geometrii pro EDX a EBSD
- Alternativní možnost přidání většího manipulátoru pro větší vzorky
- Geometrie portů optimalizovaná pro mikroanalytické účely; ideální geometrie vstupních portů pro EDX, WDX a EBSD
- Prvotřídní scintilační detektory na bázi krystalů YAG
- Výběr z mnoha volitelných přídavných detektorů a dalšího příslušenství
- Rychlé a snadné dosažení čistého pracovního vakua pomocí turbomolekulární a suché vývěvy; dosažení vysokého vakua v trysce pomocí iontové vývěvy
- Zkoumání nevodivých vzorků v módu nízkého vakua a excelentní výsledky zkoumání vzorků magnetických, nedeformované zkoumání EBSD vzorce ve srovnání s imersní magnetickou čočkou
- Integrované aktivní odpružení pro zajištění efektivní redukce okolních vibrací v laboratoři
VELA3 konfigurace
Konfigurace XM komory rozšiřují analytický potenciál a přináší další možnosti zkoumání povrchu vzorku.
VELA3 XMH
Vysokovakuová varianta založená na autoemisním elektronovém tubusu Wide Field Optics.
VELA3 XMU
Varianta s nastavitelným tlakem v komoře pro pozorování nevodivých preparátů bez nutnosti pokovení.
Standard:
- Measurement
- Image Processing
- 3D Scanning
- Hardness
- Multi Image Calibrator
- Object Area
- Switch-Off Timer
- Tolerance
- Scriptor
- Positioner
- Live Video
- DrawBeam Basic
- EasySEMTM
Volitelné:
- Particles Basic
- Particles Advanced
- Sample Observer
- Image Snapper
- DrawBeam Advanced
- Input Director
- TESCAN TRACE GSR
- 3D Metrology (MeX)
- 3D Tomography
- System Examiner
Electron Optics CZ:
| Electron Gun: | wolframová žhavená katoda | ||||||||||
| Resolution: |
| ||||||||||
| Zvětšení: | 1.5x - 1,000,000x | ||||||||||
| Maximum Field of View: | 90 mm | ||||||||||
| Accelerating Voltage: | 200 V do 30 kV | ||||||||||
| Probe Current: | 1 pA do 2 µA | ||||||||||
| Electron Optics Working Modes: |
V nízkém vakuu je možné pozorovat pouze v módu Resolution a Depth. |
Scanning:
| Scanning Speed: | od 20 ns do10 ms na pixel nastavitelná v krocích nebo plynule |
| Scanning Features: | Bodové a liniové rastrování |
Ion Optics:
| Ion column: | Canion / Cobra |
| Resolution: | <5 nm při 30 kV / <2.5 nm při 30 kV |
| Zvětšení: | min. 150x v bodě koincidence a při 10 kV (odpovídá zornému poli 1 mm), max. 1,000,000x |
| Accelerating Voltage: | 0.5 kV do 30 kV |
| Ion Gun: | zdroj iontů galia z kapalného kovu (Ga Liquid Metal Ion Source - LMIS) |
| Probe Current: | 1 pA do 40 nA / 1 pA do 50 nA |
| SEM-FIB Coincidence at: | WD 9 mm pro SEM - WD 12 mm pro FIB |
| SEM-FIB angle: | 55° |
Vacuum System:
| Chamber Vacuum: |
| ||||||||
| Column Vacuum: | < 9x10-3 Pa* | ||||||||
| FIB gun Vacuum: | < 5x10-5 Pa | ||||||||
| Pumping Time after Specimen Exchange: | typicky < 3.5 minuty |
* tlak < 5x10-4 Pa dosažitelný, nutno použít odlišnou měrku tlaku (na vyžádání - volitelné příslušenství)
** nutno vložit do objektivu clonu pro nízké vakuum
Chamber:
| Internal diameter: | 285 mm (šířka) x 340 mm (výška) | ||||
| Door: | 285 mm (šířka) x 320 mm (výška) | ||||
| Number of ports: | 12+ | ||||
| Chamber Suspension: |
|
Specimen Stage:
| Typ: | kompucentrický, plně motorizovaný |
| Movements: | X = 130 mm (-50 mm do +80 mm) Rotace: 360° plynule Poznámka: Rozsah pohybu může být závislý na WD a konfiguraci. |
| Maximum Specimen Height: | 145 mm (bez modulu rotace manipulátoru) |
| Volitelná rozšíření komory a manipulátoru: | Rozšíření komory |
| Rozšíření komory s modifikací manipulátoru v Y posuvu |
Standard:
- SE detektor sekundárních elektronů, typ Everhart-Thornley (YAG krystal)
- R BSE* vysunovací anulární scintilační detektor (YAG krystal) odražených
elektronů s vysokou citlivostí a vysokým rozlišením v atomovém čísle (0.1) - pA Meter pro měření absorbovaného proudu
- Akustická kontrola dotyku
- IR TV kamera pro pohled do komory
Volitelné1:
- LVSTD (do 500 Pa)
- Originální detektor SE pro nízké vakuum, modifikovaný Everhart-Thornley typ, U.S. Patent No. 7,193,222 B2
- SITD originální detektor sekundárních iontů; možnost současného snímání SE a SI
- Dual Scintillator R BSE* - vysunovací detektor odražených elektronů se 2 scintilátory
- R BSE 4Q* vysunovací čtyřkvadrantový – polovodičová varianta (solid-state)
- STEM detektor prošlých elektronů
- CL Detektor* - panchromatický katodoluminiscenční detektor, dva dostupné detekční rozsahy: 350 nm – 650 nm; 185 nm – 850 nm
- Barevný CL detektor* - barevný katodoluminiscenční detektor; zpracování RGB obrazu je plně integrováno do ovládání mikroskopu, žádné externí skenování, detekční rozsah 350 nm – 850 nm
- EBIC - detekce proudů indukovaných elektronovým svazkem
- SPM - rastrovací sondová mikroskopie (AFM nebo STM módy), jednoduchá instalace na manipulátor, možnost současné práce SPM/SEM
- EDX** TOA: 25° při SEM WD 9 (bod koincidence)
- WDX** TOA: 35° při SEM WD 9 (bod koincidence)
- EBSD** - elektronová difrakce odražených elektronů, ideálně umístěna pro práci při SEM WD 9 (bod koincidence)
* volitelně motorizovaný posuv
** plně integrované produkty jiných výrobců
Volitelná přídavná zařízení1:
- Chladící stolek s Peltiérovým článkem
- Beam Blanker
- Load Lock
- Control Panel
- Optical Stage Navigation
- Nanomanipulátory
1Možné kombinace volitelných detektorů a dalších zařízení je třeba konzultovat se společností TESCAN a.s.
|
Pro zobrazení obsahu je nutno být přihlášen/a.
