Flood gun

Quando uma amostra contém materiais isolantes em sua composição, o flood gun de elétrons de baixa energia TESCAN pode ser utilizado para fornecer neutralização de carga durante a remoção FIB.
O flood gun garante uma corrente de elétrons estável na faixa de baixa energia e densidades de corrente homogênea, o que o torna uma ferramenta ideal para a neutralização de carga eficaz para materiais altamente isolantes durante a imagem e remoção FIB.
 
O flood gun tem provado fornecer uma compensação de carga mesmo com uma alta corrente de feixe de 2 μA obtidos pelos FIBs de plasma TESCAN  Xe ( FERA3 e XEIA3).

O flood gun é totalmente integrado em qualquer sistema MEV-FIB TESCAN e controlado pelo módulo de software Flood Gun, incorporado ao software do microscópio.
Flood gun
Flood gun

Nota de Aplicações Relacionadas

FIB milling of non-conductive samples
Using FIB on non-conductive samples is a challenging task, because of charging. The charging can affect the beam positioning in an unexpected way. On some materials a periodical drift correction is sufficient, on others, some kind of charge compensation has to be used. The electron beam from the SEM or an electron flood gun are used as an effective charge compensation tool.
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