Load lock

O Load Lock é um acessório opcional para os sistemas TESCAN. Permite a troca rápida da amostra sem a necessidade de ventilar a câmara.
O load lock é totalmente integrado no sistema automático de vácuo do microscópio. O load lock é utilizado para exigentes aplicações onde a duração da troca de amostras deve ser mantida a um mínimo ou onde uma perda de vácuo significativo não é desejável / aceitável durante a troca de amostras.
 

Destaques

  • O projeto do load lock fornece ao usuário a possibilidade de trocar até 7 amostras de uma só vez, manusear com amostras de até 100 mm de diâmetro e wafers de até até 4".
  • Adequado para aplicações exigentes onde o tempo necessário para a troca de amostras deve ser mantido o mais curto possível.
  • Ideal para aplicações em que a perda mínima de vácuo durante a troca de amostras é de extrema importância (por exemplo, MEV-FIB).
  • O uso do load lock ajuda significativamente a manter a câmara limpa.
  • Opções automáticas e manuais disponíveis
Load lock
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