Detectores

Os sistemas MEV e MEV-FIB da TESCAN possibilitam que uma ampla gama de poderosas técnicas de microanálises, cada uma delas, colete diferentes sinais gerados durante a interação feixe-amostra.
Elétrons em MEVs (bem como íons em MEV-FIB) são acelerados com tensões na faixa de alguns eV até 30 keV. Estas partículas carregadas colidem com a superfície do material, interagindo com as camadas de superfície e como resultado, uma grande quantidade de colisões (elásticas e não elásticas) ocorre. Durante esta interação feixe amostra, uma variedade de sinais, tais como, elétrons secundários (ES), elétrons retroespalhados (BSE), foto emissões sob a forma de raios X e catodoluminescência, são gerados. Estes sinais são emitidos como um resultado de diversos processos físicos que ocorrem em diferentes profundidades da superfície, revelando cada um deles informações específicas da amostra.

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