Tecnologia desaceleração de feixe (BDT)

A tecnologia de desaceleração de feixe (BDT) destina-se à obtenção de grandes resoluções em baixas energias de feixe de elétrons.
O BDT inclui um sistema para polarização de tensão negativa do estágio de amostras e um detector In-beam que funciona, ou como  detector SE no modo de desaceleração de feixe (BDM), ou como detector BSE no modo padrão.
 
O BDT nos novos modelos de imersão 2016, equipados com a nova coluna de MEV Triglav™ UHR, consiste no BDM e nos detectores in-beam de alto desempenho para a detecção simultânea neste modo dos sinais SE e BSE.


 
  No BDM a energia dos elétrons no feixe é reduzida antes de atingir a superfície da amostra, através de uma tensão de polarização negativa aplicada no estágio da amostra. Podem ser atingidas energias de aterrisagem ultrabaixas de até 50 eV (ou, 0 eV no controle manual). O BDM aumenta o desempenho da coluna de elétrons ao reduzir as aberrações ópticas, permitindo assim pequenos tamanhos de pontos de análises e imagens de alta resolução em baixas energias.
 
 Baixas energias de elétrons são vantajosas para reduzir os efeitos de carga em amostras não condutoras e amostras sensíveis ao feixe, tais como camadas de transistores em circuitos integrados seccionados transversalmente para análise de falhas, materiais
 dielétricos de baixo fator k e foto resistentes. O BDM é especialmente adequado para imagens de amostras biológicas em seu estado não revestido em energias de feixes ultrabaixas sem danos nas amostras. Neste modo, a resolução final em baixas energias de
 aterrisagem é alcançada para máxima sensibilidade superficial e excelente contraste topográfico do material.                         
Tecnologia desaceleração de feixe (BDT)
Bolas de estanho sobre carbono no BDM a 1 keV, utilizando o detector SE (BDM) (topo) fornecendo informações topográficas com efeito de borda típico e, utilizando o detector BSE (BDM) (fundo) para uma informação composicional.