Detectores SE

Elétrons secundários (SE) são elétrons de baixa energia emitidos a partir da superfície das amostras (dentro de uma faixa de alguns nm de profundidade); portanto, eles fornecem imagens de alta resolução, apropriadas para a caracterização topográfica detalhada das amostras. Os elétrons secundários (SE) são produzidos quando os elétrons primários do feixe interagem inelasticamente com a superfície da amostra.  SE tem energias <50 eV.
Imagens SE fornecem excelentes detalhes da superfície, com bordas bem definidas. Regiões da amostra de frente ao detector aparecem mais brilhantes do que as de costa ou as bloqueadas pela topografia da amostra, criando um contraste característico em imagens SE. Nos contornos ou características nítidas da amostra também aparecerão mais brilhantes porque mais elétrons SE são emitidos a partir destas regiões.
 
O detector SE mais comum é o detector Everhart-Thornley (E-T), o qual é um tipo de fotomultiplicdor cintilador baseado em um monocristal de YAG (Cristal de Ítrio-alumínio) que oferece alta eficiência e redução de ruído para a coleta de sinais SE. Uma grade carregada positivamente (algumas centenas de V) é utilizada para atrair os SEs emitidos (negativamente carregados) para o detector E-T. O detector é posicionado de um lado da amostra, no interior da câmara do microscópio.

Detector SE In-Beam

Outro tipo de detector é o detector SE in-Beam (no feixe) que é posicionado no interior da lente objetiva. A vantagem deste detector é que ele permite a obtenção de imagens em distâncias de trabalho muito curtas, garantindo desta forma uma melhor resolução. O detector SE In-Beam permite observar extraordinários detalhes da superfície e destaques da topografia.

Todos os sistemas TESCAN estão equipados com detectores de alta eficiência Everhart-Thornley (E-T) como configuração padrão. Detectores SE In-Beam estão disponíveis opcionalmente nos modelos MIRA3, TIMA X, LYRA3 e FERA3 e, nos modelos MAIA3, GAIA3, XEIA3, como parte integrante da configuração padrão de fornecimento.

 
Detectores SE
Detector SE In-Beam