Detectores STEM

A microscopia eletrônica de transmissão de varredura (STEM) é a capacidade de um microscópio em combinar os princípios utilizados em microscópios eletrônicos de transmissão (METs) e MEV. STEM é uma técnica popular para laboratórios sem microscópios eletrônicos de transmissão (MET). Detectores STEM ampliam as capacidades de imagem e o poder analítico dos sistemas MEV e MEV-FIB, fornecendo informações exclusivas que são geradas pelos elétrons transmitidos. As amostras analisadas com esta técnica precisam ser preparadas na forma de lamelas finas com espessuras <100 nm.  Esta técnica pode ser utilizada em combinação com análises elementares como EDS e modo de transmissão EBSD, fornecendo microanálise das amostras com alta resolução.
 
Os elétrons transmitidos espalhados em diferentes ângulos fornecem diferentes informações da amostra. Os seguintes sinais estão disponíveis:
  • O campo claro (BF) representa tipicamente contraste de orientação de difração de Bragg e contraste de absorção em lamelas.
  • O campo escuro (DF) contém parcialmente contraste de orientação e contraste de material em elementos leves.
  • O campo escuro de alto ângulo (HADF) contém máximas informações sobre o contraste do material e o contraste mínimo de difração de Bragg.
Os ângulos de dispersão dependem do material da amostra, da espessura da lamela e da energia do feixe.
 
Aplicações: o detector STEM permite a investigação de ultraestrutura em amostras biológicas, análise de falhas em dispositivos semicondutores e caracterização de materiais.
  
A TESCAN desenvolveu dois tipos de detectores STEM que podem ser instalados em nossos sistemas MEV ou MEV-FIB. Isto amplia o poder analítico dos sistemas MEV-FIB; lamelas de alta qualidade podem ser preparadas e analisadas in situ. 

Os detectores STEM da TESCAN:

Detector HADF R-STEM (Detector de STEM Retrátil de Campo Escuro de Alto Ângulo)

  • Múltiplas amostras podem ser observadas sem quebrar o vácuo da câmara
  • Aquisição simultânea dos sinais campo claro (BF), campo escuro (DF) e campo escuro alto ângulo (HADF).
  • STEM colorido: Os sinais BF, DF e HADF podem ser codificados por cores e ser combinados em uma única imagem.
  • A amostra pode ser movida para cima e para baixo em relação ao detector de modo a alcançar as melhores condições de imagem
  • A amostra pode ser inclinada independentemente do detector
  • Aquisição de áreas maiores usando o software ImageSnapper é possível
  • Porta amostras intercambiáveis para fácil manipulação da grade
  • Dois suportes de amostras disponíveis: suporte de amostras múltiplas e suporte de lamelas para MET
  • Melhoria da geometria do porta amostra para análise EDS

Detector STEM

  • O detector STEM consiste de três sensores semicondutores para imagens de campo claro e campo escuro.
  • Possibilidade de aquisição simultânea de imagem de campo claro e campo escuro ou mistura dos sinais.
  • Design compacto - adaptador removível no estágio.
  • A grade padrão MET é colocada no porta amostra do detector.
Detectores STEM
O detector HADF R-STEM melhora a análise SEM (SE, BSE, EDS, EBSD) que pode ser realizada em amostras de fatias finas adicionando a informação única que apenas os elétrons transmitidos podem fornecer.

Nota de Aplicações Relacionadas

High resolution analysis of thin foils using the STEM Detector with HADF
Performing scanning transmission electron microscopy (STEM) in a scanning electron microscope (SEM) is a popular technique for laboratories without transmission electron microscopy (TEM) capabilities. The new option for TESCAN STEM detector extends the imaging capabilities by simultaneous acquisition of multiple signals from transmitted and diffracted electrons including bright field, dark field and high angle dark field. The STEM analysis can be further supplemented with transmission EDX or EBSD microanalysis for receiving higher resolution, utilizing the available analytical techniques of the SEM.
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