Espectrometria de raios X

A espectrometria de raios X é uma das técnicas mais comuns implementadas em MEV para microanálise. Espectroscopia de raios X por energia dispersiva (EDS) e a espectroscopia de raios X de dispersão por comprimento de onda (WDS) são duas destas técnicas nas quais os raios X característicos gerados a partir da interação feixe-amostra de elétrons são analisados para proporcionar a composição elementar da amostra na forma de espectros (histogramas) nos quais, elementos individuais podem ser identificados. Os picos nos espectros EDS e WDS correspondem a linhas de raios X característicos de um elemento específico. Assim, os espectros proporcionam uma caracterização química quantitativa das amostras.
Em uma análise de ED, toda a gama de energias de raios X característicos é medida simultaneamente em oposição ao WDS, em que apenas um único comprimento de onda (correspondente a um valor de energia) é medido de cada vez. Portanto, a análise EDS é mais rápida em comparação ao WDS.

Em termos de resolução de energia, WDS oferece resolução significativamente melhor do que EDS. Os picos ausentes numa análise de EDS estão claramente resolvidos num espectro WDS. Isto é especialmente útil quando se analisam os elementos traços.

Dados EDS e WDS podem ser coletados simultaneamente sem comprometer qualquer técnica. Para amostras desconhecidas, é conveniente realizar uma análise EDS inicial que identifique os principais elementos presentes na amostra, seguida de uma análise WDS mais sensível para resolver sobreposições de picos e detectar elementos traços, fora do limite de detecção do detector EDS.

Para melhor atender às suas necessidades analíticas específicas, uma variedade de espectrômetros de terceiros pode ser integrada nos sistemas MEV e MEV-FIB da TESCAN.
Espectrometria de raios X
Mapeamento EDS de estrutura com carbonetos

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