LYRA3

O LYRA3 é um sistema de feixe duplo que combina uma coluna de alta resolução MEV-FEG com uma fonte versátil FIB de íons de Ga de alto desempenho. O LYRA3 é uma excelente escolha para a preparação de seções transversais, lamelas de alta qualidade para MET e tomografia MEV-FIB de alta resolução para reconstruções 3D de amostras. Os usuários podem lucrar com a excelente resolução em altas correntes, vantajosas para aplicações analíticas, como EDS, WDS e EBSD. O LYRA3 satisfaz as atuais necessidades para a caracterização e microanálises de amostras em ciência de materiais e da indústria. Adicionalmente, tarefas em litografia de feixe & íons, bem como a edição de circuito e dispositivos microeletrônicos, são tarefas em que o LYRA3 se destaca. Seu software poderoso e de alto rendimento, mas de fácil utilização, permite que mesmo usuários inexperientes possam implementar facilmente aplicações complexas de MEV-FIB como reconstruções 3D, cortes transversais seriados e preparação de lamelas, bem como, a microscopia correlativa.

Principais Características

Óptica eletrônica moderna

  • Exclusivo projeto Wide Field Optics™ com uma lente intermediária (IML), oferecendo uma variedade de modos de trabalho e de exibição com aumento no campo de visão e profundidade de foco.
  • O gerenciamento de feixe em tempo real In-Flight Beam Tracing™ garante o desempenho e a otimização do feixe, permitindo também o controle contínuo e direto dos parâmetros do feixe.
  • Tecnologia de desaceleração do feixe (BDT) para alta resolução a baixas tensões de aceleração.
  • Ajuste e configuração da óptica eletrônica totalmente automatizado
  • Imagens rápidas, com taxas de até 20 ns/pixel
  • Exclusiva imagem estereoscópica ao vivo, utilizando a avançada tecnologia de feixe 3D, abre o micro e nano mundo para uma incrível experiência e navegação 3D

Óptica de íons de alto desempenho

  • Sofisticado sistema FIB-CANION de alto desempenho para cortes transversais rápidos e precisos e para a preparação de amostras para TEM.
  • Coluna opcional COBRA-FIB de ultra alta resolução representa o mais alto nível de tecnologia em termos de resolução, tanto para a imagem quanto para remoção.  Este é um dos instrumentos FIB mais precisos para nanoengenharia do mundo.
LYRA3
LYRA3

Reconstrução 3D de uma amostra de ferro fundido dúctil

Catálogo do produto

LYRA3 brochure
Focused ion beam scanning electron microscope for high-performance in nanoengineering. Download LYRA3 brochure!
pdf – 1,4 MB