MAIA3

O MAIA3, é um MEV-FEG de ultra alta resolução com excelente capacidade de imagem em toda a gama de energias do feixe.
Um sistema de detecção versátil e de alta resolução espacial permite a observação de até mesmo os mais finos detalhes da superfície. Esta é uma característica essencial para a caracterização abrangente de nanomateriais, para a observação de amostras sensíveis ao feixe comuns na indústria de semicondutores e para a geração de imagens de amostras não condutoras, incluindo amostras biológicas não revestidas.
 

Principais Características

Triglav ™ - recém projetado a coluna de elétrons UHR

  • Sistema de objetivas TriLens™: combinação única de feixe com três lentes objetivas, livre de cruzamento
  • Sistema avançado de detecção com múltiplos detectores SE e BSE
  • Triglav™ - ultra alta resolução final em baixa energia de feixe: 1 nm a 1 keV e 0,7 nm a 15 keV
  • Sistema térmico de dissipação de energia EquiPower™ para a excelente estabilidade da coluna de elétrons
  • Correntes de feixe de elétrons de até 400 nA e rápidas mudanças de energia do feixe
  • Geometria da coluna otimizada para acomodar grandes wafers até 8”
  • Controle em tempo real In-Flight Beam Tracing™ para melhor desempenho e otimização do feixe
  • Modo de baixo vácuo prolongado com pressões de câmara de até 500 Pa para imagens de amostras não condutoras
  • Triplo sistema de detecção BSE Tribe ™ para coleta de sinal seletivos de ângulo. Os detectores BSE ângulo médio e In-beam LE-BSE estão localizados no interior da coluna, detectando elétrons retroespalhados de ângulo médio e axiais, enquanto um detector BSE In-chamber detecta elétrons de alto ângulo. Juntos, eles oferecem uma variedade de contrastes de imagem, permitindo a detecção de baixa energia até 200 eV.
  • A tripla detecção SE TRISE™ para capturar sinais SE de forma otimizada em todos os modos de trabalho. O detector In-beam SE dentro da coluna, permite a detecção de elétrons em distâncias de trabalho muito curtas. O detector SE para o modo de desaceleração de feixe garante uma resolução final em BDM.  O detector In-chamber SE oferece excelente contraste topográfico.
  • Tecnologia de desaceleração de feixe (BDT) para excelentes resoluções em energias muito baixas de até 50 eV (opcional)
MAIA3
MAIA3

Catálogo do produto

MAIA3 brochure
MAIA”3 - Newly designed ultra-high resolution electron column for superb imaging.

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