Triglav™

Experimente a melhor resolução


A nova coluna MEV TESCAN Triglav™ oferece uma combinação única de ótica de imersão e modo sem cruzamento de faixe para imagens UHR em baixas energias. A lente objetiva de pólo  único pólo cria um campo magnético em torno da amostra e diminui drasticamente as aberrações ópticas. Evitando o cruzamento do feixe na coluna é reduzido o efeito Boersch, otimizando o feixe de elétrons para obter uma resolução superior. Os detalhes da superfície da amostra podem ser capturados de forma mais confiável do que nunca. Para análise, a tecnologia TriLens ™ melhora a resolução no modo livre de campo magnético.
 

Principais benefícios

  • TriLens™: objetiva baseada na vantajosa complementaridade de três lentes que permitem vários modos de imagem
  • Combinação única de lente de UHR com modo livre de cruzamento de feixe para uma magnífica ultra alta resolução : 1 nm a 1 kV
  • TriSE™: três detectores SE para capturar os melhores detalhes da superfície
  • TriBE™: três detectores de BSE para contraste de composição seletiva de ângulo
  • EquiPower™: excelente estabilidade da coluna ideal para aplicações demoradas como a tomografia MEV-FIB
Detector Resolução
In-Beam SE 0.7 nm a 15 keV
SE (BDM) 1.0 nm a 1 keV
STEM 0.7 nm a 30 keV

Catálogo do produto

Triglav™ UHR column
Charging of non-conductive materials, observation of very thin layers or surface at high magnification, damaging of sensitive samples – these are the problems which many scientists are faced when using scanning electron microscopy (SEM). High-resolution imaging, particularly at low accelerating voltages, has always been of great importance in a wide variety of fields, from technology and engineering to biology and scientific research. To satisfy the growing demands on low-voltage imaging while keeping outstanding resolution, TESCAN has developed the ultra-high resolution (UHR) Triglav™ SEM column equipped with the TriLens™ objective and an advanced detection system.
pdf – 2,1 MB

TriLens™


Três lentes, vários modos de imagem


O sistema de objetiva TriLens ™ baseia-se na vantajosa complementaridade de três lentes objetivas: uma lente de ultra alta resolução (lente de imersão de 60 °), uma lente analítica e uma lente Intermediária (IML). A combinação destas lentes resulta em diferentes modos de imagem de trabalho.
  • Modo UH-RESOLUTION
    • Este modo é conseguido pela combinação única de óptica de imersão e modo sem cruzamento de feixe para imagens de ultra alta resolução em baixas energias.
    • Evita qualquer cruzamento de feixe na coluna, reduz o efeito Boersch e ainda otimiza o feixe de elétrons para produzir uma resolução superior de 1 nm a 1 kV.
    • UHR é ideal para análise de falhas em semicondutores, pesquisa e caracterização de nanomateriais, amostras não condutoras e amostras muito sensíveis.
  • Modo ANALYSIS
    • Este modo é implementado por meio de uma lente analítica.
    • É bem adequado para análises como EDS e EBSD, bem como, imagens simultâneas de MEV durante operações FIB como seccionamento transversal MEV-FIB e tomografia MEV-FIB.
    • É possível a obtenção de imagens de alta qualidade de amostras magnéticas altamente topográficas.
  • Modo DEPTH
    • A lente de ultra alta resolução pode ser utilizada em combinação com a lente IML, que permite aumentar a corrente , mantendo uma excelente resolução e permitindo uma grande profundidade de foco. Isso amplia ainda mais as capacidades analíticas, permitindo a geração de imagens de amostras sensíveis com topografia elevada.
  • Modo de VISÃO GERAL
    • A IML permite um amplo campo de visão.
Teste de resolução: Partículas de Au sobre C a 50 eV com o detector SE (BDM) no modo UH-RESOLUTION (campo de visão 1 μm).

 
Sistema da objetiva TriLens™. (A) IML, (b) lente analítica, (c) lente de ultra alta resolução

TriSE™ + TriBE™

Sistema de detecção universal

Veja ainda mais com o avançado sistema de detecção Triglav™ que envolve vários detectores de alta eficiência na coluna, bem como, na câmara para os elétrons secundários, retroespalhados e transmitidos.
TriSE™ - tripla detecção de SE - fornece detelhes completos da topografia da amostra com baixíssimo nível de ruido, permitindo a captura dos detalhes mais finos da superfície. Cada modo de trabalho – para análise de ultra alta resolução  ou para desaceleração de feixe - é equipado com um detector SE dedicado, colocado em uma posição ideal com aprorpiado guia de sinal.

TriSE™ – Sistema exclusivo de detecção Triple SE

  • In-Chamber SE
    Para contraste topográfico.
  • In-Beam SE
    Para ultra alta resolução e máxima sensibilidade superficial.
  • SE (BDM)
    Para imagens finais no modo de desaceleração do feixe (BDM).
Ver a topografia real da amostra . (A) BDM, (b) RESOLUÇÃO UH e (c) modos de ANÁLISE têm seus próprios detectores dedicados em posições ideais para capturar detalhes finos da superfície da amostra.
TriBE™ - detecção tripla de BSE - é utilizado para distinguir os ângulos de take-off do sinal BSE, fornecendo informações abrangentes sobre a composição do material. Um detector de BSE retrátil na câmara, posicionado entre a amostra e a coluna, fornece contraste topográfico e de composição (de elétrons de alto ângulo) adequado para observação de amostras de baixo contraste. O detector BSE de médio-ângulo, dentro da coluna, permite mapeamento de composição com baixo volume de ruído. O detector BSE In-Beam captura verdadeiras informações de composição devido ao puro contraste de material de superfície dos elétrons retrodispersados ​​axiais.

TriBE™ - Sistema único de detecção de BSE triplo

  • BSE na câmara (retrátil) - Para detecção de BSE de alto ângulo, fornecendo principalmente contraste topográfico mas também, de composição, especialmente adequado para amostras de baixo contraste (por exemplo, amostras polidas).
  • Mid-angle BSE - Para a detecção de sinal de BSE de médio ângulo, que é ideal para imagens em distâncias de trablaho muito pequenas, fornecendo principalmente contraste composicional e também, topográfico.
  • In-Beam BSE - Para a detecção axial de BSE, fornecendo puro contraste elementar de superfície, muito adequado para pequenas distâncias de trabalho.
A sofisticada geometria do sistema de detecção permite distinguir os ângulos de de take-off BSE. (A) O BSE In-Beam capta as BSEs axiais para o contraste Z da superfície pura. (B) BSE de ângulo médio proporciona contraste de volume Z e (c) O detector de BSE na câmara proporciona contraste topográfico e de composição.
This gallery shows a sample of SiN with Ag contact imaged at 5 keV with the In-Chamber SE, In-Beam SE, In-Chamber BSE, Mid-Angle BSE, and In-Beam BSE detectors.

Modo de desaceleração do feixe

Quando o modo de desaceleração do feixe (BDM) é ativado, o sistema de detecção permite a distinção entre os sinais SE e BSE e, consequentemente, a aquisição simultânea de ambos. Neste modo, a resolução final em baixas energias de aterrisagem é alcançada para a máxima sensibilidade superficial e excelente contraste topográfico e elementar.
O sistema de detecção permite a aquisição simultânea de sinais SE e BSE no modo de desaceleração do feixe (BDM). (A) O detector SE (BDM). B) Detector de BSE (BDM). (C) Amostra
Esferas de estanho em carbono  no BDM a 1 keV utilizando o detector SE (BDM), fornecendo informações topográficas com típico efeito de borda.
Esferas de estanho em carbono no BDM em 1 keV utilizando o detector BSE (BDM), fornecendo uma informação de composição.