Dekontaminator

Bei Elektronenstrahlen im Niedrigenergiebereich (< 5 keV) oder beim Arbeiten im Beam Deceleration Modus ist ein Dekontaminator dringend empfohlen. TESCAN bietet als optionales Zubehör einen Dekontaminator an, der direkt in die Softwareumgebung des REM integriert ist.
Ein niederenergetischer Elektronenstrahl reagiert stark mit kohlenstoffhaltigen Molekülen. Diese Reaktion hinterlässt während der Abbildung im REM dunkle Kontaminationsschichten auf der Probenoberfläche. Ursache sind im REM vorhandene, oder durch verschmutzte Proben eingeschleppte Kohlenwasserstoffe. Sie werden durch den Elektronenstrahl aufgespalten, wodurch sich Kohlenstoff im jeweiligen Rasterbereich als Kontaminationsschicht ablagert. Durch Plasmareinigung von Proben und Probenkammer kann die Kontamination stark reduziert werden. Die kohlenstoffhaltigen Verbindungen werden durch das Plasma des Dekontaminators verascht und über die Vakuumpumpen abgepumpt. Zur Dekontaminierung sind keine Zusatzgase notwendig, es reicht die normale Raumluft. Gerade bei Arbeiten im Niedrigenergiebereich ist Dekontamination dringend zu empfehlen, um die starken Bildbeeinträchtigungen durch kohlenstoffhaltige Verbindungen zu eliminieren.

Eine Dekontaminator kann bei allen TESCAN REM und FIB-REM ggf. jeder Zeit nachgerüstet werden.
Dekontaminator
Kontaminationsschicht aus leichtflüchtigen Kohlenwasserstoffmolekülen vor der Reinigung