DrawBeam Software

DrawBeam ist eine äußerst leistungsstarke, anwenderfreundliche Software für professionelles Patterning bei REM- und FIB-REM-Lithographieanwendungen. Das Softwaremodul steuert Elektronen- und Ionenstrahl, Probentisch und Gasinjektionssysteme (GIS). DrawBeam ermöglicht Anwendungen wie Elektronenlithographie (EBL), FIB-Patterning, Cross-Sectioning, Lamellenpräparation, Circuit Editing und Delayering (Abtrag von Schichten).
Das DrawBeam Modul erlaubt die Belichtung verschiedener Muster wie Punkte, Linien, Kreuze, Rechtecke, Kreise, Ringe, leere Objekte und Zentriermarken. Der Upload von Bitmaps oder TXT-Dateien für personalisiertes Milling ist ebenfalls möglich. Alle Muster werden in Layern geordnet, die auch die Prozessart (Ablagerung, Abtrag etc.), wie auch Kontaktparameter (Scanpfad, Verweildauer, Neigung) beinhalten. Ein Bündel von Layern kann automatisch abgearbeitet werden. Jedes DrawBeam-Projekt kann einfach gespeichert und wieder aufgerufen werden, wobei alle Parameter im Projekt erhalten bleiben.

In DrawBeam enthaltene Prozesse:
  • Elektronenbelichtung (Elektronenstrahl- Lithographie)
  • Elektronenätzen (+GIS)
  • Elektronenablagerung (+GIS)
  • Ionenätzen (+FIB)
  • Ionenablagerung (+FIB +GIS)

Hauptmerkmale

  • DrawBeam enthält eine eingebaute Materialdatenbank.
  • DrawBeam führt bei Einschnitten eine Neigungskorrektur durch, um die Abtragzeit zu optimieren und Redepositionsartefakte zu verhindern.
  • DrawBeam führt eine Korrektur des Nahwirkungseffekts (Proximity-Effekts) bei Lithographieanwendungen durch.
  • Das DrawBeam Modul enthält eine Funktion zur genauen Endpunktdetektion.
  • DrawBeam ermöglicht Livewiedergabe der Bilder, was ideal für herausfordernde Milling-Aufgaben ist, die äußerste Präzision erfordern, wie anspruchsvolles Circuit Editing oder Delayering in modernen integrierten Schaltungen.
  • Die Zusatzoption Rocking Stage (Lösung für TESCAN GM-Kammern zur Eliminierung von Curtaining-Effekten während der FIB Oberflächenpolitur) ist, für die ultimative Automation von Milling-Anwendungen, voll in die Draw-Beam Software integriert.


DrawBeam kann auf allen TESCAN REM- und FIB-SEM-Systemen installiert werden.
Drei verschiedene Versionen sind erhältlich:
  • Basic
  • Advanced – entworfen für Anwender, die komplexere Strukturen mit höherer Geschwindigkeit und Genauigkeit fertigen müssen.
  • Offline – erlaubt das Erstellen von Projekten und Aufgaben außerhalb des Mikroskops. So kann das Mikroskop in der Zwischenzeit für andere Aufgaben genutzt werden.
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