Flood Gun

Enthält eine Probe isolierende Materialien in ihrer Zusammensetzung, kann das zu Aufladungen während des FIB-Millings führen. Die Flood Gun ist in der Lage, diese Aufladungen zu neutralisieren.
Die Flood Gun sichert einen stabilen Elektronenstrom im Niedrigenergiebereich mit homogener Stromdichte. Das macht sie zum idealen Werkzeug für eine effektive Aufladungsneutralisation bei hochisolierenden Materialien während der FIB-Abbildung und -Bearbeitung.
 
In der Praxis hat die Flood Gun bewiesen, dass sie selbst bei den TESCAN Xenon-Plasma-FIB-REM (FERA und XEIA), mit ihrem hohen Strahlstrom von 2 μA , eine sichere und effektive Aufladungskompensation leisten kann.

Die Flood Gun ist voll in jedes TESCAN FIB-REM-System integriert. Sie wird von der Flood Gun Software gesteuert, die in die Hauptsoftware des Mikroskops eingebunden ist.
Flood Gun
Flood Gun

Applikationssbeispiele (in Englisch)

FIB Milling of Non-Conductive Samples
Using FIB on non-conductive samples is a challenging task, because of charging. The charging can affect the beam positioning in an unexpected way. On some materials a periodical drift correction is sufficient, on others, some kind of charge compensation has to be used. The electron beam from the SEM or an electron flood gun are used as an effective charge compensation tool.
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