Load Lock Probenschleuse

Probenschleusen ermöglichen einen schnellen Probenwechsel, ohne die Notwendigkeit der zeitaufwendigen Be- und Entlüftung der REM- oder FIB-REM-Kammern. TESCAN bietet für seine Mikroskope verschiedene, automatisch oder manuell betriebene Probenschleusen an.
Die Load Lock Probenschleuse ist voll in das automatische Vakuumsystem des Mikroskops integriert. Sie ist zum Beispiel für anspruchsvolle Anwendungen gedacht, bei denen die Dauer des Probenwechsels auf ein Minimum reduziert werden muss oder wenn ein signifikanter Abfall des Vakuums während des Probenwechsels nicht wünschenswert, bzw. akzeptabel ist.
 

Highlights

  • Bis zu sieben Proben können auf einmal gewechselt werden.
  • Probenwechsel von Proben mit bis zu Ø 100 mm oder von 4" Wafern möglich.
  • Geeignet für anspruchsvolle Anwendungen, bei denen die Zeit für den Probenwechsel möglichst gering gehalten werden soll.
  • Ideal für Anwendungen, bei denen minimaler Vakuumverlust während des Probenwechsels von großer Wichtigkeit ist (z.B. FIB-REM).
  • Load Lock System hilft signifikant, die Vakuumkammer sauber zu halten.
  • Automatische oder manuelle Probenschleusen erhältlich.
Load Lock Probenschleuse
Load Lock