Optical Stage Navigator

TESCAN Rasterelektronenmikroskope (REM) bieten eine hochentwickelte und vollautomatische optische Navigation des Probentischs. Das macht die Orientierung auf dem Probentisch leichter, als jemals zuvor.
Von einer CCTV-Kamera, die auf der Vakuumkammer des REM angebracht ist, wird ein farbiges Übersichtsbild des Probentischs mit den Proben aufgenommen. Dieses Übersichtsbild wird mit der elektronenoptischen Abbildung des REM korreliert. Als Ergebnis wird eine makroskopische Ansicht der Proben während der REM-Abbildung beibehalten. Der motorisierte Probentisch kann durch einen einzigen Klick im Übersichtsbild an den gewünschten Punkt dirigiert werden. Der angepeilte Punkt wird dann im REM-Scanfenster in der eingestellten Vergrößerung, dargestellt. Der beobachtete Bereich wird in der CCTV-Abbildung durch einen kleinen grünen Kreis dargestellt.


 


 
Optical Stage Navigator
Optical Stage Navigatior