Rocking Stage

Die für TESCAN FIB-REM mit GM-Kammer erhältliche Rocking Stage minimiert den Curtaining-Effekt durch optimierte Politur.
Die TESCAN Rocking Stage ermöglicht multidirektionales Milling durch Probenkippung. Abbildung im REM und FIB-Oberflächenpolitur finden gleichzeitig statt – was mit einer konventionellen, euzentrischen Probenbühne unmöglich durchzuführen wäre. Die Rocking Stage hat in der Praxis vielfach bewiesen, dass sie Curtaining-Effekte während der Oberflächenpolitur von Cross-Sections und TEM-Lamellen effektiv verhindert.
 

Highlights

  • Einzigartige, mehrfach kippbare Probenbühne – die Rocking Stage erlaubt die Kippung der Probenbühne im Lot zur Cross-Section-Ebene in allen Richtungen.
  • Piezo-Antriebe ermöglichen präzise Bewegung in allen sechs Achsen.
  • Absolute Echtzeitkontrolle durch Abbildung im REM über den gesamten Cross-Sectioning Prozess hinweg.
  • Signifikante Reduzierung des Curtaining-Effekts.
  • Verlässliche Endpunktbestimmung mit Hilfe der REM-Abbildung während des gesamten Milling-Prozesses.
  • Software Wizard führt den Anwender durch die Einstellung der Rocking Stage.
  • Volle Integration der Rocking Stage in die TESCAN DrawBeam Software für die ultimative Automation von Milling-Anwendungen.

Rocking Stage, kombiniert mit Xenon-Plasma-FIB (FERA und XEIA)

  • Polieren von Cross-Sections
  • Polieren von TEM-Lamellen ("Top-Down" TEM-Lamellen-Ausdünnungstechnik kann ebenfalls umgesetzt werden)

Rocking Stage, kombiniert mit Gallium-FIB (LYRA und GAIA)

  • Horizontaler, planarer Schichtabbau
  • Top-Down Ausdünnung von TEM-Lamellen
  • Polieren von Cross-Sections


 
Rocking Stage
Cross-Section eines Cu-Pillars nach Einsatz der Rocking Stage