Software

Die ausgereifte, modulare TESCAN Software wurde speziell entwickelt, damit Sie das Optimum aus Ihrem TESCAN Mikroskop herausholen, ganz gleich, auf welchem Anwendungsfeld Sie arbeiten oder wie vertraut Sie mit der Bedienung eines Elektronenmikroskops sind. Die Software steigert die Leistungsfähigkeit der Systeme, indem sie maximale Kontrolle, Geschwindigkeit und Leistungsfähigkeit ermöglicht. Von der Bilderzeugung bis zur Bildanalyse und von der Probenpräparation bis zur 3D-Probenrekonstruktion: Unsere Softwarelösungen ermöglichen maximalen Durchsatz in Ihrem Labor.

 
Software
Benutzerfreundliche TESCAN Software

ATLAS

ATLAS ist eine universelle Bildverarbeitungssoftware zur Aufnahme, Widergabe, Verarbeitung, Analyse, Suche und Archivierung von Abbildungen, die mit unterschiedlichen Quellen, wie Elektronenmikroskopen oder Dual Beam Systemen, aufgenommen wurden.
Das Programm beinhaltet ein Bildmanagementsystem, das es Anwendern erlaubt, ihre Abbildungen in Alben zu speichern und spezifische Abbildungen oder Gruppen von Abbildungen aufgrund von Suchkriterien wiederzufinden. Dazu gehören beispielsweise das Aufnahmedatum, der Name des Mikroskops, der Projektname, der Name des Anwenders, Parameter des Mikroskops bei der Aufnahme, eingesetzte Detektoren, Auflösung, Darstellungsmodus und mehr.
 
Die ATLAS Software läuft auf einer Windows™-Plattform und kann Dateien in MS Word exportieren. Dadurch wird die Erstellung von Berichten, basierend auf anpassbaren Templates, vereinfacht. Die Abbildungen können in mehreren Standardbildformaten (z.B. jpeg, tiff, bmp, etc.) gespeichert werden. ATLAS™ ist eine Mehrbenutzersoftware. Die Benutzerumgebung jedes einzelnen Nutzers wird individuell und automatisch gespeichert. ATLAS™ ist als modulare Software aufgebaut und kann, je nach speziellem Anwendungsgebiet und Analyseverfahren, modular mit Plug-Ins erweitert werden.
 
Als Standardmodule enthält die ATLAS™ Software:
 
  • Histogram: Stellt das Bildhistogramm des aktiven Fensters. Kontrast/Helligkeit können einfach durch drei Pfeile verändert werden (Schwarz- oder Weiß-Level und Gammakorrektur).
  • Live Video: Erlaubt dem Anwender die Bearbeitung einer Abbildung, die mittels Videokamera oder anderer Aufnahmegeräte, die mit dem PC verbunden sind, erzeugt wurde.
  • Measurement: Zur Messung von Längen, Flächen und Winkeln von Bildobjekten. Das Modul kann ebenfalls Kommentare, Maßstabsleisten, Markierungen und Hilfspfeile einfügen oder ein Raster über eine Abbildung legen. Die Messergebnisse können in einer Datei gespeichert werden, die mit einem Text- oder Tabellenkalkulationsprogramm geöffnet werden kann.
  • Particles: Modul für die morphologische Analyse von Objekten (Partikeln, Körnern, Fasern, etc.).
  • Hardness: Zur Messung der Materialhärte mittels Brinell- oder Vickersverfahren.
  • Image Processing: Bietet eine große Auswahl an Bildbearbeitungsfunktionen, wie Größenanpassung und Schneidwerkzeuge, Rauschfilter, verschiedene Ecken- und Strukturdetektoren, manuelle und automatische Einstellung der Helligkeit oder des Kontrasts und verschiedene Filter zur Bildkontrastverstärkung.
  • Multi Image Calibrator: Erlaubt dem Anwender die automatische Kalibrierung der Pixelgröße. Diese Information wird in anderen Modulen (z.B. Measurement) für die Messung von Längen oder Flächen in physikalischen Einheiten (Millimeter, Zoll, Nanometer, etc.) genutzt.
  • Object Area: Berechnung von ausgewählten Flächen in einer Abbildung. Die Region wird definiert durch die Farbe (Helligkeit) der in dieser Region liegenden Pixel. Die Region wird mit einer ausgewählten Farbe markiert und kann dann berechnet werden. Die Region muss durch Farbe oder Helligkeit erkennbar sein. Verschiedene Abbildungen können gleichzeitig berechnet und das erzielte Resultat in einer Textdatei gespeichert werden.
  • Tolerance: Schnelle Kontrolle von Objektgrößen und Größentoleranzen.
  • Report Generator: Erlaubt das Erstellen von druckbaren Dokumenten, basierend auf vordefinierten Templates, wie Reports.

Synopsys Avalon™

Synopsys ist ein korrelatives Mikroskopiemodul für Halbleiteranwendungen, das die Avalon™ Softwarewerkzeuge für CAD-Navigation, Circuit Editing und Fehleranalyse von Halbleitern enthält.
Diese Software ist in der Lage, technische Schemata und Layouts von Objekten, wie integrierten Schaltungen und Lithographiemustern, zu lesen und darzustellen. Das CAD-Layout wird, unter Nutzung der DrawBeam Software als Interface, auf der REM-/FIB-Abbildung liegend dargestellt. Avalon™ ist ein unverzichtbares Werkzeug für Anwendungen in der Elektronen- / Ionenlithographie und FIB-Anwendungen wie die Modifizierung von Proben zum Zwecke der Prototypherstellung oder Circuit Editing.
 

Hauptvorteile:

  • Verbessert die Produktivität der Fehleranalyse durch eine gebräuchliche Softwareplattform für verschiedenes FA-Equipment.
  • Signifikante Abnahme der Vorlaufzeit mit reduzierten FA-Taktzeiten.
  • Schnellere Problemlösung durch Cross-Mapping (Layout und Zeichnungen) gleichzeitig.
  • Verbessert die Genauigkeit der Analyse durch die Nutzung hochentwickelter Fehlersuchwerkzeuge.
  • Sicherer Zugang zu allen FA-Informationen durch KDB™ Datenbank.
  • Kompletter Zugang zu allen Fehlersuchwerkzeugen.

Applikationssbeispiele (in Englisch)

Integrated Circuit Device Modification using Camelot
As the complexity of Integrated Circuit (IC) design modifications increase, the time to perform these modifications also increases. As a result, the turn-around-time for bug fixes becomes critical to a product’s success. The Focused Ion Beam (FIB) is powerful tool for circuit edit because it can remove and deposit materials with high precision. These capabilities can be used to cut and connect circuitry within a device, as well as to create probe points for electrical test. To execute circuit edits, the FIB tool is coupled to a CAD navigation system that makes it possible to locate the area of interest.
pdf – 2,2 MB

AutoSlicer

Der AutoSlicer ermöglicht die Automation von FIB-REM-Arbeitsabläufen, wie serielles Cross-Sectioning und Lamellenpräparation. Das System kann unbeaufsichtigt oder über Nacht durchlaufen.
Die Vollautomation solcher Prozesse hilft, die Produktivität des Systems zu steigern und erspart dem Anwender viel Arbeitsaufwand. Nachdem mehrere Objekte an unterschiedlichen Stellen definiert werden, kann das Modul die unbeaufsichtigte Übernacht-Bearbeitung durch das System durchführen.

3D Tomography

3D Tomography ist eine hochentwickelte Software, mit der man FIB-REM-Tomographie durchführen kann und die nachfolgend 3D-Rekonstruktionen aus den gewonnenen Daten erzeugt.

Verschiedene Visualisierungsmethoden sind verfügbar. Auch die Datennachbearbeitung ist möglich.
 

Das Modul besteht aus folgenden Teilen:

  • Acquisition-Wizard für Milling und Bilderfassung
  • Datennachbearbeitung
  • 3D-Rekonstruktion und Visualisierung



 

Datenerfassung

Der Acquisition-Wizard führt den Anwender durch das Setup für Milling- und Abbildungsparameter. Im FIB-Fenster wird die zu bearbeitende Region ausgesucht. Danach werden Parameter zu den Milling-Bedingungen, zur Anzahl von Schnitten und zur Auflösung bestimmt.
 

Automatisiertes Ionen-Milling und Bilderfassung

Der erste Schritt bei der Präparation besteht aus der optionalen Schaffung einer Schutzschicht. Es folgt das Milling einer Vertiefung mit festgelegter Tiefe und die Herstellung einer ersten, polierten Cross-Section. Die Größe der Vertiefung wird automatisch vorgegeben, um wahrscheinliche Redepositionseffekte und geometrisch bedingte Abschattungen zu vermeiden. Manchmal wird eine schützende Pt-Schicht aufgetragen, z.B. wenn eine präzise Rekonstruktion der Oberflächenstruktur notwendig ist. Der zweite Schritt beginnt bei der anfänglichen Cross-Section. Es folgt ein fortlaufender Prozess aus dem Milling dünner Schichten, gefolgt von der Bilderzeugung durch das REM. Die Kippkorrektur, Bildverlagerung und der Fokus werden automatisch nachjustiert, um das Bild der polierten Oberfläche im Zentrum des Sichtfelds zu halten. Der gesamte Datenerfassungsprozess für ein Volumen von 10x10x10 µm3 kann bis zu 2-3 Stunden dauern (abhängig von den Milling-Bedingungen).
 

Datennachbearbeitung

Die aufgenommenen Serien von Abbildungen sind nicht immer geeignet für eine direkte Visualisierung ohne Datennachbearbeitung. Daher können die Abbildungen zugeschnitten, neu orientiert und mit einigen Filtern (Tonkorrektur, Mittelwert, etc.) nachbearbeitet werden.
 

3D-Visualisierung

Verschiedene Visualisierungsmethoden stehen zur Verfügung. Das Modul kann eine Serie von Graustufenbildern laden oder binäre Rohdaten importieren (Maße, Maßstab und Datenformat werden vom Anwender gegeben).

Es gibt verschiedene Visualisierungsmethoden:

Iso-Oberflächen



Viele Iso-Oberflächen mit verschiedenen Farben und Transparenzen können dargestellt werden. Für diese Methode sind Bilder mit hoher Qualität (wenig Rauschen) wichtig.

Direkte Volumenrenderung



Bei der direkten Volumenrenderung hängen Farbe und Deckkraft von den Helligkeitswerten im Bild ab. Dieser Algorithmus ist nicht so rauschempfindlich und reagiert nicht so sensibel auf Helligkeitsveränderungen wie die Iso-Oberflächen-Methode.

Schnitte



Viele Schnitte können angezeigt werden, entweder axial an einer der Hauptachsen ausgerichtet oder in willkürlichem Winkel. Jedem Schnitt kann eine andere Farbgebung zugewiesen werden. Die Schnitte können deckend oder transparent sein. Der Schwellwert der Transparenz kann eingestellt werden.

Applikationssbeispiele (in Englisch)

FIB Tomography of an Integrated Circuit
FIB tomography has become an important tool for studying materials at the micro and nano scale. Unlike a single cross-section, FIB tomography gives better understanding of the volume distribution, 3D structure and the relationship between three dimensional objects. TESCAN FIB-SEMs can be equipped with 3D Tomography - an optional software module for automated data acquisition and reconstruction.
pdf – 1,4 MB
Ultra-Fast 3D EDS and 3D EBSD Microanalysis on the FERA Xe+ Plasma FIB-SEM
In this application example a first results of ultra-fast 3D EBSD and 3D EDS done on FERA FIB-SEM are shown. The three dimensional material microanalysis became a popular analytical method during the past few years, gaining from the ability to describe the material structure and composition as it exists in real components. A high resolution scanning electron microscope (SEM) combined with a focused ion beam (FIB) is used for a high precision tomographical method based on FIB slicing and SEM observation of the slice. The FIB-SEM can be further equipped by analytical methods like energy-dispersive X-ray spectrometer (EDS) for elemental composition or electron backscattered diffraction analyzer (EBSD) for crystal orientation mapping, resulting in 3D microanalysis, i.e. 3D EDS and 3D EBSD. However, the main limitation of this tomographic method so far has been the speed of data acquisition. This influences also the volume which can be analyzed in reasonable time of several hours.
pdf – 851 kB

CORAL

Korrelative Mikroskopie ist zu einer der führenden Methoden bei der umfassenden Charakterisierung zellularer Funktionen geworden.
Die Fähigkeit, Daten von vielen Bildmodalitäten zu korrelieren, erlaubt den Forschern Beziehungen zwischen Funktion und Struktur so zu untersuchen, wie es zuvor nicht möglich war.

TESCAN bietet das ausgereifte Coral Modul als umfassende Softwarelösung für die Durchführung korrelativer Experimente mit dem Mikroskop an. Es erlaubt dem Anwender den einfachen Datenimport aus jeder beliebigen Quelle, einfache Korrelation und die Überlagerung mit den REM-Abbildungen.

Korrelative Mikroskopie in einem FIB-REM-System

Die CORAL Modulplattform ermöglicht die Korrelation von Daten eines Lichtmikroskops mit einem FIB-REM-System. Sie arbeitet in Synergie mit der DrawBeam FIB-Kontrollsoftware, in welcher der Anwender Strukturen direkt in der DrawBeam Umgebung erzeugen kann. Sie berücksichtigt Kippkorrekturen, so dass dieselben Strukturen im FIB- und REM-Scanfenster unabhängig voneinander gesteuert werden können.

Hauptmerkmale:

  • Leicht zu bedienendes Interface
  • Kompatibel mit jedem Lichtmikroskop
  • Direktimport komplexer LM-Daten
  • Einfacher Abgleich zwischen LM- und REM-Daten
  • Keine spezielle Hardware notwendig
  • Zahlreiche Navigationsmöglichkeiten
  • Hochentwickeltes ROI-Management
  • Kompatibilität mit anderen Softwaremodulen