Detektoren

TESCAN bietet für seine REM- und FIB-REM-Systeme eine große Auswahl eigener Detektoren und Detektortechnologie von Drittanbietern an, die direkt in die Gerätesysteme integriert werden. Die große Bandbreite verschiedener Detektoren ermöglicht dem Anwender, für seine speziellen analytischen Frage- und Aufgabenstellungen die optimalen Lösungen und Antworten zu finden. Damit jeder Anwender seine perfekte Multi-Detektor-Konfiguration verwirklichen kann, sind alle TESCAN Kammern mit einer großen Anzahl an Detektor-Ports ausgestattet.
Die Elektronen im REM, wie auch die Ionen im FIB-REM, werden bei Spannungen im Bereich von einigen eV bis zu 30 keV beschleunigt. Die so aufgeladenen Teilchen treffen auf die Oberfläche des zu untersuchenden Materials, interagieren mit ihr und verursachen eine Kaskade elastischer und inelastischer Kollisionen.

Diese generieren eine Vielfalt an Signalen, wie Sekundärelektronen (SE - Topographie), Rückstreuelektronen (RE/BSE - Materialkontrast) und Fotoemissionen in Form von Röntgenstrahlung (EDX, WDX) und Kathodolumineszenz (KL/CL). In FIB-REM-Systemen können auch Sekundärionen (SI) bildgebend und analytisch detektiert werden.

Jedes emittierte Signal resultiert aus diversen physikalischen Prozessen, die in unterschiedlichen Eindringtiefen im Material stattfinden und liefert wertvolle Informationen über das Probenmaterial.

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