Beam Deceleration Technologie

Beam Deceleration Technologie (BDT) ermöglicht höchste Auflösung bei niedriger Elektronenstrahlenergie.
Bei der BDT wird eine negative Spannung an den Probentisch angelegt. Ein In-Beam-Detektor arbeitet entweder als SE-Detektor im Beam Deceleration Modus (BDM) oder BSE-Detektor im Standardmodus.

Die neuen TESCAN Modelle mit Triglav™ UHR-Elektronensäule verfügen über BDM und extrem leistungsstarke In-Beam-Detektoren für gleichzeitige SE- und BSE-Signalgewinnung im BDM.


 
Im BDM wird die Energie der Elektronen im Strahl verringert, bevor sie auf die Oberfläche der Probe auftreffen. Das wird durch eine negative Vorspannung des Probentischs erreicht. Extrem niedrige Auftreffenergien bis zu 50 eV (manuell regelbar bis 0 eV) sind erreichbar. Der BDM steigert die Leistung der Elektronensäule durch Reduzierung optischer Aberrationen und erlaubt somit geringe Strahldurchmesser und hochauflösende Abbildungen bei niedriger Auftreffenergie.

Bei nichtleitenden, strahlempfindlichen Proben (wie Transistor-Layern in integrierten Schaltungen, welche für die Fehleranalyse freigelegt wurden), Low-k dielektrischen Materialien und Fotowiderständen bringt niedrige Auftreffenergie den Vorteil geringer Aufladung. Der BDM ist besonders geeignet für die Untersuchung biologischer Proben in unbeschichtetem Zustand, da durch die sehr niedrige Auftreffenergie die Proben nicht beschädigt werden. Mit der Beam Deceleration Technologie wird beste Auflösung bei niedriger Auftreffenergie für maximale Oberflächenempfindlichkeit sowie hervorragender topographischer und Materialkontrast erzielt.
Beam Deceleration Technologie
Zinn auf Kohle, aufgenommen im Beam Deceleration Modus (BDM) bei 1 keV mit SE (BDM) Detektor (oben), topographische Informationen mit typischem Randeffekt. Mit BSE (BDM) Detektor (unten), liefert Informationen über die Zusammensetzung.