SE-Detektoren

Sekundärelektronen (SE) sind niederenergetische Elektronen, die ortsgebunden aus den oberflächennahen Bereichen einer Probe (einige nm) emittiert werden. Daher liefern Sekundärelektronen hochauflösende Abbildungen, die für die topographische Charakterisierung einer Probe genutzt werden. Sie werden durch unelastische Interaktion des Primärelektronenstrahls mit der Probe erzeugt. Sekundärelektronen haben eine Energie <50 eV.
SE-Abbildungen liefern hervorragende Oberflächendetails mit gut definierten Konturen. Probenbereiche, die dem Detektor näher sind, erscheinen heller als abgewandte Bereiche, da die Sekundärelektronen dort von der Topographie geblockt werden. Daraus entsteht der charakteristische Kontrast einer SE-Abbildung. Kanten oder scharfe Konturen der Probe scheinen ebenfalls heller, da diese mehr SE-Elektronen emittieren.
 
Der am weitesten verbreitete SE-Detektor ist der Everhart-Thornley (E-T) Detektor. Er ist hoch-effizient und weist ein reduziertes Rauschverhalten im SE-Signal auf. Ein positiv aufgeladenes Grid wird genutzt, um aus der Probe emittierte Sekundärelektronen in Richtung des E-T-Detektors anzuziehen. Der Detektor ist an einer Seite der REM-Kammer platziert.

In-Beam SE-Detektor

Der In-Beam SE-Detektor befindet sich direkt in der Objektivlinse des REM und wird für Abbildungen bei sehr kleinen Arbeitsabständen genutzt. Dadurch wird eine bessere Auflösung erreicht. Der In-Beam SE-Detektor ermöglicht die Darstellung von Probenoberflächen mit außerordentlicher Detailschärfe und hebt die Topographie hervor.

Alle TESCAN Systeme sind in ihrer Standardkonfiguration mit hocheffizienten Everhart-Thornley (E-T) Detektoren ausgestattet. Für MIRA3, TIMA-X, LYRA3, und FERA3 sind optional In-Beam SE-Detektoren erhältlich, die für eine bessere Qualität der Abbildungen sorgen. Bei MAIA3, GAIA3 und XEIA3 gehört der In-Beam SE-Detektor zur Standardkonfiguration.

 
SE-Detektoren
SE-Detektor