LYRA3

Die LYRA3 ist ein FIB-REM-System, das die hochauflösende FE-REM-Säule des MIRA3 REM mit einem vielseitigen, leistungsstarken Gallium-FIB vereinigt. Das System ist eine hervorragende Wahl für die Präparation von Cross-Sections, standortspezifischen, hochqualitativen TEM-Lamellen und bei hochauflösender FIB-REM-Tomographie für dreidimensionale Probenrekonstruktion. Anwender profitieren von der exzellenten Auflösung bei hohen Strahlströmen, was sich als höchst zweckmäßig bei analytischen Anwendungen wie EDX-, WDX- und EBSD-Analysen bewiesen hat. Die LYRA3 befriedigt die hohen Ansprüche bei der Charakterisierung und Mikroanalyse von Proben in Materialwissenschaft und Industrie. Sie zeichnet sich ebenfalls bei der Ionenlithographie und dem Circuit Editing von mehrlagigen Mikroelektronikbauteilen aus. Hoher Durchsatz und einfach zu handhabende Software erlauben selbst unerfahrenen Nutzern, mühelos komplexe FIB-REM-Anwendungen, wie 3D-Rekonstruktion, serielles Cross-Sectioning, TEM-Lamellenpräparation oder korrelative Mikroskopie, erfolgreich durchzuführen.

Hauptmerkmale

Hochleistungs-Elektronenoptik

  • Einzigartiges Unique Wide Field Optics™ Design mit proprietärer, intermediärer Linse (IML) für die Optimierung der Strahlapertur. Sie bietet mehrere unterschiedliche Arbeits- und Abbildungsmodi, beispielsweise mit erweitertem Sichtfeld oder Tiefenschärfe.
  • In-Flight Beam Tracing™ für die Leistungs- und Strahloptimierung, die sowohl die direkte, als auch kontinuierliche Kontrolle des Strahls und Strahlstroms in Echtzeit ermöglicht.
  • Setup und Anpassung der Elektronenoptik sind voll automatisiert.
  • Schnelle Bilderfassungsrate.
  • Einzigartige, live-stereoskopische Bilderzeugung mittels ausgereifter 3D-Beam-Technologie, die das Tor zur Mikro- und Nanowelt für beeindruckende 3D-Erfahrungen und 3D-Navigation eröffnet.

Hochleistungs-Ionenoptik

  • Technisch ausgereiftes, leistungsstarkes CANION FIB-System für schnelles und präzises Cross-Sectioning und TEM-Probenpräparation.
  • Optionale, ultrahochauflösende COBRA FIB-Säule repräsentiert den höchsten Technologiestand hinsichtlich Auflösung, Milling und Bilderzeugung. Sie ist eines der präzisesten FIB-Instrumente für Nanoengineering weltweit.
LYRA3
TESCAN LYRA3 GM

3D-Rekonstruktion einer verformbaren Gusseisenprobe

Produktbroschüre (in Englisch)

Hier LYRA3 Produktbroschüre (in Englisch) downloaden.
FIB-REM mit hochauflösender Elektronensäule, Schottky Feldemissionskathodensystem. Erhältlich mit zwei verschieden Kammern, als HiVac oder UniVac Modell, mit vielen Detektorkombinationen und optionalem Zubehör. Bestens für Nanoengineering geeignet.
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