GAIA3

Das GAIA3 Ultra-High Resolution FIB-REM ist die ideale Plattform zur Durchführung außerordentlich anspruchsvoller Nanoengineering-Applikationen, die äußerste Präzision verlangen. Die Präparation hochqualitativer, ultradünner TEM-Lamellen, Freilegungsprozesse bei Technologieverbindungen, präzises Nanopatterning oder hochauflösende 3D-Rekonstruktionen sind nur einige der Anwendungen, bei denen die GAIA3 brilliert.
 
Diese Merkmale machen die GAIA3 zum idealen Instrument für Anwendungen, bei denen eine Bilderzeugung bei geringer Strahlenergie Voraussetzung ist. So werden empfindliche Proben geschützt, die ansonsten durch den Elektronenstrahl beschädigt oder zerstört werden können. Zu solchen Materialien gehören z.B. Low-k-dielektrische Materialien, Photowiderstände oder biologische Proben. Für die Probenmodifikation stellt das GAIA3 UHR FIB-REM passende Lösungen für herausfordernde Nanomachining- und Nanofabrication-Aufgaben zur Verfügung.

Hauptmerkmale

Triglav™ - neu entwickelte UHR-Elekronensäule

  • TriLens™ Objektivsystem: Einzigartige Kombination aus drei Objektivlinsen und Crossover-freiem Strahlengang
  • Hochentwickeltes Detektorsystem mit vielen SE- und BSE-Detektoren
  • Triglav™ - Ultimative Höchstauflösung bei niedriger Strahlenergie: 1 nm @ 1 keV und 0,7 nm @ 15 keV
  • EquiPower™-System zur Wärmeableitung für beste Säulen- bzw. Strahlstabilität
  • Elektronenstrahlströme bis zu 400 nA und schneller Wechsel der Strahlenergie
  • Optimierte Säulengeometrie für die Aufnahme großer Wafer bis zu 8”
  • Echtzeit In-Flight Beam Tracing™ für Strahloptimierung und hohe Leistung

Cobra FIB-Säule

Extrem leistungsstarke Gallium-FIB-Säule für ultimative Präzision beim Nanoengineering.
  • Strahlstrom: 1 pA bis 50 nA
  • Auflösung: < 2.5 nm @ 30 kV am REM-FIB-Koinzidenzpunkt
  • Höchster Technologiestand in Sachen Auflösung bei Milling und Bilderzeugung
  • Die Cobra-Säule ermöglicht kurze Zeiten für hervorragende Ergebnisse bei Cross-Sectioning und TEM-Probenpräparation
  • Ideal für 3D-Studien biologischer Proben, wie Gewebe und ganzen Zellen
  • Exzellente Leistung im Low-kV-Bereich, ideal für die Politur extrem dünner Lamellen und für die Reduzierung amorpher Schichten
GAIA3
TESCAN GAIA3 GM

Produktbroschüre (in Englisch)

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TESCAN GAIA UHR FIB-REM, höchstauflösende (Ultra-High Resolution) Rasterelektronenmikroskope mit Schottky Feldemissionskathodensystem mit Triglav™ Elektronensäule und Focused Ion Beam Gallium Ionenquelle. Erhältlich mit zwei verschieden Kammern, als HiVac oder UniVac Modell, mit vielen Detektorkombinationen und optionalem Zubehör.

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