MAIA3

Die MAIA3 ist ein ultrahochauflösendes (Ultra-High Resolution) REM mit hervorragenden Abbildungseigenschaften innerhalb des gesamten Strahlenergiebereichs.
Ein vielseitiges Detektorsystem und hohe räumliche Auflösung erlauben die Untersuchung feinster Oberflächendetails. Das ist entscheidend für die umfassende Charakterisierung von Nanomaterialien, die Untersuchung strahlempfindlicher Proben (normal in der Halbleitertechnologie) und für komfortable Bilderzeugung bei nichtleitenden Proben, wie z.B. biologischem Material.
 

Hauptmerkmale

Triglav™ - neu entwickelte UHR-Elekronensäule

  • TriLens™-Objektivsystem: Einzigartige Kombination aus drei Objektivlinsen und Crossover-freiem Strahlengang
  • Hochentwickeltes Detektorsystem mit vielen SE- und BSE-Detektoren
  • Triglav™ - Ultimative Höchstauflösung bei niedriger Strahlenergie: 1 nm @ 1 keV und 0,7 nm @ 15 keV
  • EquiPower™-System zur Wärmeableitung für beste Säulen- bzw. Strahlstabilität
  • Elektronenstrahlströme bis zu 400 nA und schneller Wechsel der Strahlenergie
  • Optimierte Säulengeometrie für die Aufnahme großer Wafer bis zu 8”
  • Echtzeit In-Flight Beam Tracing™ für Strahloptimierung und hohe Leistung
  • Erweiterter Niedervakuummodus mit Kammerdruck bis zu 500 Pa für die Abbildung nichtleitender Proben
  • Dreifache BSE-Detektion TriBE™ für winkelselektive Signalgewinnung. Die Mid-Angle BSE- und In-Beam LE-BSE-Detektoren sind innerhalb der Elektronensäule platziert und erfassen Rückstreuelektronen mit mittlerem Winkel und axiale RE-Elektronen, während der In-Chamber BSE-Detektor weitwinklige Elektronen erfasst. Zusammen liefern sie eine Vielfalt von Abbildungskontrasten und ermöglichen niederenergetische Detektion bis 200 eV.
  • Dreifache SE-Detektion TriSE™ zur optimalen Erfassung von SE-Signalen in allen Arbeitsmodi. Der In-Beam SE-Detektor in der Elektronensäule ermöglicht die Detektion von Elektronen bei sehr kleinen Arbeitsabständen. Der SE-Detektor für den Beam-Deceleration-Modus liefert ultimative Auflösung im BDM. Der In-Chamber SE-Detektor ermöglicht ausgezeichneten topographischen Kontrast.
  • Beam Deceleration Technology (BDT) für exzellente Auflösung bei niedriger Auftreffenergie bis 50 eV (optional)
MAIA3
TESCAN MAIA3 LM

Produktbroschüre (in Englisch)

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TESCAN MAIA UHR FE-REM der dritten Generation, höchstauflösende (Ultra-High Resolution) Rasterelektronenmikroskope mit Schottky Feldemissionskathodensystem mit Triglav™ Elektronensäule. Erhältlich mit drei verschieden Kammern, als HiVac oder UniVac Modell. Mit vielen Detektorkombinationen und optionalem Zubehör erhältlich.
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