MIRA3

Die MIRA3 ist ein leistungsstarkes Rasterelektronenmikroskop mit Schottky Feldemissions-Kathodensystem (FE-REM) für brillante, hochauflösende, rauscharme Abbildungen. Die Elektronik der MIRA3 bietet dem Anwender alle Vorteile moderner Technologie, wie schnelle Bilderfassung, ultraschnelles Scanning System, Kompensation statischer und dynamischer Bildaberrationen oder Scripting für benutzerdefinierte Anwendungen.
Ihre hervorragende Auflösung bei hohen Strahlströmen hat sich als besonders vorteilhaft bei EDX-, WDX- und EBSD-Analyse bewiesen. Durch die optional erhältlichen MIRA3 Versionen mit Beam Deceleration Technologie (BDT) werden die Einsatzmöglichkeiten bei niedriger Auftreffenergie weiter erhöht. Die MIRA3 ist als Hochvakuum- oder Univakuummodell (wahlweise Betrieb im Hoch- oder Niedervakuum möglich) mit drei verschiedenen Kammergrößen erhältlich: LM-, XM-, GM-Kammer. Für die XM- und GM-Kammer gibt es (ab Werk) optionale Kammererweiterungen. Zudem ist noch die MIRA AMU mit extragroßer Kammer erhältlich. Alle Kammern sind mit einer Vielzahl von Ports ausgestattet, die eine ideale Geometrie für EDX-, WDX- und EBSD-Analyse aufweisen.
 

Hauptmerkmale

  • Schottky Feldemissionsemitter für brillante, hochauflösende, rauscharme Abbildungen.
  • Einzigartiges Wide Field Optics™ Design mit proprietärer, intermediärer Linse (IML) für die Optimierung der Strahlapertur. Sie bietet mehrere unterschiedliche Arbeits- und Abbildungsmodi, beispielsweise mit erweitertem Sichtfeld oder Tiefenschärfe.
  • Echtzeit In-Flight Beam Tracing™ für die Leistungs- und Strahloptimierung, die sowohl die direkte, als auch kontinuierliche Kontrolle des Strahls und Strahlstroms ermöglicht.
  • Beam Deceleration Technology für exzellente Auflösung bei niedriger Auftreffenergie.
  • Alle MIRA3 Kammern bieten durch ihre fünfachsige, vollmotorisierte, compuzentrische Probenbühne hervorragendes Probenhandling und weisen eine ideale Geometrie für EDX und EBSD auf.
  • Hervorragende Bilderzeugung bei geringem Arbeitsabstand mit optionaler In-Beam-Detektion. (optional)
  • Optional sind (bei XM-, GM-Modellen) Kammererweiterungen mit robuster Probenbühne für die Aufnahme großer Proben oder Wafer (6", 8", 12") erhältlich.
  • Eine Vielzahl an Ports mit optimierter Geometrie für EDX-, WDX-, EBSD- und vielen anderen analytischen Detektoren
  • Untersuchung nichtleitender Proben im Niedervakuum
  • Verschiedene Kammerdämpfungsoptionen verringern oder eliminieren effektiv Vibrationen aus der Laborumgebung
  • Verzerrungsfreie EBSD-Patterns
MIRA3
TESCAN MIRA3 LM

Produktbroschüre (in Englisch)

Hier MIRA3 Produktbroschüre (in Englisch) downloaden.
TESCAN MIRA FE-REM der dritten Generation, hochauflösende Rasterelektronenmikroskope mit Schottky Feldemissionskathodensystem. Erhältlich mit drei verschieden Kammern, als HiVac oder UniVac Modell. Mit vielen Detektorkombinationen und optionalem Zubehör erhältlich.
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