MIRA3 AMU

Die TESCAN MIRA3 AMU ist ein leistungsstarkes FE-REM-System, das mit einer außerordentlich großen Kammer ausgestattet ist. Dieses einzigartige Mikroskop erlaubt die Abbildung und Analyse extrem großer Proben, die nicht in Standardkammern passen.
In der Forensik, Archäologie, Automobilindustrie oder Luft- und Raumfahrtfahrtindustrie kommt es oft vor, dass Analysen nur dann durchgeführt werden dürfen, wenn die zu untersuchende Probe bei der Untersuchung unbeschädigt bleibt. Das ist beispielsweise der Fall, wenn eine Probe als Beweisstück dient, die gesamte große Probe untersucht werden muss oder wenn es sich bei der Probe um ein Stück von großem historischem Wert handelt. In solch einem Fall können Proben zu groß oder zu schwer für Standardkammern sein.

Für solche Fälle bietet TESCAN das MIRA3 AMU Rasterelektronenmikroskop an. Das einzigartige FE-REM mit hocheffizientem, hochauflösendem Schottky Feldemitter kann extrem große und schwere Proben aufnehmen und macht so deren Analyse erst möglich.

 

Applikationen

  • Biowissenschaften
    • Abbildung großer biologischer Proben, Analyse ganzer Knochen
  • Materialwissenschaften
    • Charakterisierung von großen Proben als ganzes Stück, Ermüdungs- und Abnutzungsstudien, Fehleranalyse, Forensik
  • Geowissenschaften
    • Untersuchung und Charakterisierung von Mineralien, ganzer Gesteinsbrocken oder wertvoller geologischer Proben, deren ganzheitliche Struktur für die Analyse erhalten bleiben muss
  • Halbleiter & Mikroelektronik
    • REM Prüfung großer Wafer (maximaler Durchmesser der Probe beträgt 30")

Besondere Merkmale der AMU-Kammer

  • REM-Abbildungen extrem großer Proben, die nicht verändert werden dürfen (z.B. nicht in kleinere Teile geschnitten werden dürfen)
  • Kammerinnenmaße: 880 x 1200 mm (Breite x Tiefe)
  • Maximales Probengewicht: 25 kg
  • Integrierte aktive Schwingungsdämpfung
  • Geeignet für Nieder- und Hochvakuumbetrieb
  • Sehr viele Detektorkonfigurationen möglich
MIRA3 AMU
MIRA3 AMU