Triglav™ UHR-Elektronensäule

Erleben Sie ultimative Auflösung


Die TESCAN Triglav™-Säule ist eine extrem leistungsfähige elektronenoptische Säule, die Höchstauflösung auch bei niedrigster Auftreffenergie erzeugt. Ausgestattet mit neuentwickelter Elektronenoptik und durchdachtem Detektorsystem, bietet die Triglav™-Elektronensäule dem Anwender maximale Oberflächenempfindlichkeit und ausgezeichneten topographischen Kontrast auch bei hochempfindlichen oder nichtleitenden Proben.

 

Hauptvorteile

  • TriLens™: Elektronenoptik, basierend auf drei Objektivlinsen, mit denen mehrere Abbildungs- und Arbeitsmodi möglich sind
  • Einzigartige Kombination aus UH-Resolution-Linse und Crossover-freiem Strahlengang für ausgezeichnete Höchstauflösung: 1 nm @ 1 keV (BDM)
  • TriSE™: Drei SE-Detektoren, zur Abbildung feinster Oberflächendetails
  • TriBE™: Drei BSE-Detektoren für besten Kontrast unter verschiedenen Abnahmewinkeln
  • EquiPower™: System zur Wärmeableitung und Temperaturstabilisierung für beste Säulen- bzw. Strahlstabilität, ideal bei zeitintensiven Anwendungen wie FIB-REM-Tomographie


 


 
Detektor Auflösung
In-Beam SE 0,7 nm @ 15 keV
SE (BDM) 1,0 nm @ 1 keV
STEM 0,7 nm @ 30 keV

Applikationssbeispiele (in Englisch)

Triglav™ UHR Column
Charging of non-conductive materials, observation of very thin layers or surface at high magnification, damaging of sensitive samples – these are the problems which many scientists are faced when using scanning electron microscopy (SEM). High-resolution imaging, particularly at low accelerating voltages, has always been of great importance in a wide variety of fields, from technology and engineering to biology and scientific research. To satisfy the growing demands on low-voltage imaging while keeping outstanding resolution, TESCAN has developed the ultra-high resolution (UHR) Triglav™ SEM column equipped with the TriLens™ objective and an advanced detection system.
pdf – 2,1 MB

TriLens™


Drei Linsen, verschiedene Abbildungsmodi


Das TriLens™-Elektronenoptiksystem basiert auf drei Objektivlinsen: einer UH-Resolution-Linse (60° Immersionslinse), einer Analytik-Linse und einer intermediären Linse (IML). Aus deren Kombination entstehen mehrere Arbeitsmodi.
 
  • UH-RESOLUTION Modus
    • Der Modus wird erzeugt durch die einzigartige Kombination aus Immersions-Objektivlinse und Crossover-freiem Modus für höchstauflösende Abbildungung bei niedriger Auftreffenergie.
    • Die Vermeidung jeglichen Crossovers in der Säule reduziert den Boersch-Effekt und optimiert zudem den Elektronenstrahl. So sind Auflösungen unterhalb von 1 nm @ 1 keV möglich.
    • Der UHR-Modus ist ideal zur Fehleranalyse bei Halbleitern, der Forschung an und Charakterisierung von Nanomaterialien, nichtleitenden und empfindlichen Proben geeignet.
  • ANALYSIS Modus
    • In diesem Modus die Analytik-Linse aktiviert.
    • Er ist bestens geeignet für analytische Verfahren wie EDX und EBSD sowie auch für gleichzeitige REM-Aufnahmen während des FIB-Betriebs, zum Beispiel beim Cross-Sectioning und der FIB-REM-Tomographie.
    • Mit dieser Linse sind auch hochqualitative Abbildungen magnetischer Proben möglich.
  • DEPTH Modus
    • Die UH-Resolution-Linse kann in Kombination mit der intermediären Linse (IML) genutzt werden. Dies ermöglicht die Erhöhung des Strahlstroms bei sehr hoher Auflösung und damit zu einer hohen Tiefenschärfe. So werden die analytischen Fähigkeiten verbessert. Empfindliche Proben mit starker Topographie lassen sich in diesem Modus optimal untersuchen.
  • OVERVIEW Modus
    • Die intermediäre Linse (IML) ermöglicht ein unverzerrtes, großes Sicht- und Bildfeld.
Auflösungstest: Au Partikel auf C, aufgenommen bei 50 eV mit dem SE (BDM) Detektor im UH-RESOLUTION Modus (Sichtfeld 1 µm).

 

TriLens™ Elektronenoptik (a) IML, (b) Analytik-Linse, (c) UH-Resolution-Linse

TriSE™ + TriBE™

Ausgeklügelte Detektorsysteme

Sehen Sie noch mehr mit dem hochentwickelten Triglav™-Detektorsystem. Mehrere hocheffiziente Detektoren in Säule und Kammer für Sekundär-, Rückstreu- und Transmissionselektronen.
TriSE™ – dreifache SE-Detektion – ergibt eine fast rauschfreie, umfassende Darstellung der Probentopographie und erlaubt die Erfassung feinster Oberflächendetails. Jeder Arbeitsmodus  – egal, ob Ultra-High Resolution, Analyse oder Beam Deceleration (BDM) – ist ausgestattet mit einem eigenen, speziell zugehörigen SE-Detektor, der genau an der richtigen Stelle sitzt.
 

TriSE™ – einzigartiges Triple-SE-Detektorsystem

  • In-Chamber SE
    für ausgezeichneten topographischen Kontrast
  • In-Beam SE
    für Höchstauflösung (UHR) und maximale Oberflächenempfindlichkeit
  • SE (BDM)
    für optimale Bildgewinnung im Beam Deceleration Modus (BDM)
TriSE™ Detektoren und Arbeitsmodi: (a) BDM, (b) UH RESOLUTION und (c) ANALYSIS Modus haben ihre eigenen, speziell zugeordneten Detektor.
TriBE™ – dreifache BSE-Detektion – unterscheidet zwischen BSE-Abnahmewinkeln und liefert umfangreiche Informationen über Materialzusammensetzung. Ein rückziehbarer In-Chamber BSE-Detektor, platziert zwischen Probe und Polschuh, liefert topographischen und kompositionellen Kontrast (von Weitwinkelelektronen). Der Mid-Angle BSE-Detektor in der Säule erlaubt rauscharmes "Volume Compositional Mapping". Der In-Beam BSE-Detektor leifert genaue compositionelle Informationen durch optimalen Materialkontrast über axiale Rückstreuelektronen.
 

TriBE™ - einzigartiges Triple-BSE-Detektorsystem

  • In-Chamber BSE (retractable) – mit Weitwinkel-BSE-Detektion für topographische Abbildungen und Materialkontrast, universell einsetzbar (z.B. für polierte Proben)
  • Mid-Angle BSE – mit BSE-Detektion unter mittlerem Winkel für sehr guten Materialkontrast und topographische Details bei sehr kleinem Arbeitsabstand
  • In-Beam BSE – mit axialer, spitzwinkliger BSE-Detektion für optimalen Materialkontrast bei kleinen Arbeitsabständen
Die ausgeklügelte Geometrie der Detektorenanordnung ermöglicht, zwischen BSE Abnahmewinkeln zu unterscheiden. (a) In-Beam BSE, (b) Mid-Angle BSE, (c) In-Chamber BSE Detektor
Diese Galerie zeigt eine SiN-Probe mit Ag-Kontakt, aufgenommen bei 5 keV mit In-Chamber SE-, In-Beam SE-, In-Chamber BSE-, Mid-Angle BSE-, und In-Beam BSE-Detektor.

Beam Deceleration Modus

Ist der Beam Deceleration Modus (BDM) aktiviert, kann das Detektorsystem zwischen SE-und BSE-Signalen differenzieren und dadurch simultane Untersuchungen in beiden Modi ermöglichen. Der BDM bietet beste Auflösung bei niedriger Auftreffenergie für maximale Oberflächenempfindlichkeit mit ausgezeichneten topographischen Informationen und hohem Elementkontrast.
Das Detektorsystem erlaubt im Beam Deceleration Modus (BDM) die simultane Aufnahme von SE- und BSE-Signalen. a) SE (BDM) Detektor. b) BSE (BDM) Detektor c) Probe unter Vorspannung
Zinnkugeln auf Kohle, aufgenommen im BDM bei 1 keV mit SE-(BDM)-Detektor für topographische Informationen mit typischem Randeffekt
Zinnkugeln auf Kohle, aufgenommen im BDM bei 1 keV mit BSE-(BDM)-Detektor für Materialkontrast