LYRA3

El microscopio LYRA3 es una combinación de MEB y FIB muy conveniente para usuarios exigentes
EL microscopio LYRA3 se basa en una columna MEB con emisor Schottky de Emisión de Campo de alta resolución y una columna FIB de iones de Ga de alto rendimiento. Esta nueva generación de Microscopios Electrónicos de Barrido equipados con una columna enfocada de haz de iones ofrece a los usuarios las ventajas de la última tecnología, como son una nueva y mejorada electrónica de alto rendimiento para una adquisición más rápida de imágenes, un sistema de exploración ultra rápido con compensación de aberraciones de imagen estáticas y dinámicas o secuencias de comandos integradas para aplicaciones definidas por el usuario. Todo esto manteniendo al mismo tiempo la mejor relación costo-beneficio.

La serie LYRA3 fue diseñada para satisfacer las necesidades actuales de FIB-MEB en una amplia gama de aplicaciones en la investigación y la industria. Su excelente resolución a altas corrientes de haz ha demostrado ser de gran ventaja para aplicaciones analíticas como EDX, WDX, EBSD, FIB-SEM tomography etc. Su potente software convierte a los FIB-MEB  de TESCAN en excelentes herramientas para aplicaciones, tales como litografía por electrones / iones, preparación de muestras para MET, etc. 

Los microscopios LYRA3 se fabrican en configuraciones con cámaras XM y GM.

Óptica electrónica moderna

  • Configuración y alineación electrónicas completamente automatizadas
  • Escaneo de imagen rápido
  • La avanzada Tecnología 3D Beam ofrece imágenes estereoscópicas únicas que abren las puertas al micro y nanomundo para una experiencia y navegación 3D increíble
  • Litografía electrónica con opción de blindaje de haz (Beam Blanker)

Óptica de iones de alto rendimiento

  • Sofisticada columna FIB Canion de alto rendimiento para para preparar secciones transversales de manera rápida y precisa y preparación de muestras para TEM
  • Columna opcional COBRA-FIB de ultra alta resolución representa el nivel más alto de tecnología en términos de resolución, tanto para escaneo de imágenes como para fresado. Esta columna es uno de los instrumentos FIB más precisos para nanoingeniería a nivel mundial

Partes de FIB

  • Columna óptica de iones única con bombeo diferencial de dos bombas de iones para un efecto de dispersión de iones ultra bajo
  • Cambiador de apertura motorizado de alta reproducibilidad
  • Blindaje de Haz y Copa de Faraday incluidos como estándar
  • El control del FIB está totalmente integrado en el software del MEB
  • Potente software con diversas herramientas para la creación de formas básicas con parámetros de proceso programable
  • Micro / nano fresado
  • Litografía por haz de iones
LYRA3
LYRA3

Documentos para descargar

LYRA3 brochure
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