MAIA3

Columna de electrones de ultra alta resolución de diseño reciente para excelente escaneo de imagen
MAIA3 es un MEB de ultra alta resolución con excelentes capacidades de imagen en todo el rango de energías del haz de electrones. Los detalles más finos en las superficies de las muestras pueden ser observados gracias al versátil sistema de detección de electrones. Esta es una característica esencial para la caracterización de nanomateriales, para la observación de muestras sensibles al haz de electrones las cuales son comunes en la industria de los semiconductores, así como también para la obtención de imágenes de una manera fácil y cómoda de muestras no conductoras como pueden ser muestras biológicas sin recubrimientos protectores.

Características principales

  • Resolución extraordinaria con el lente objectivo UH-Resolution (lente de inmersión de 60°). Nueva lente analítica de alta resolución para trabajos analíticos en modo libre de campo. Una lente intermedia rediseñada para un campo de visión extra grande
  • Combinación única del lente objectivo UH-Resolution y un modo libre de crossover (cruce de camino optico) para obtener las mejores imágenes a bajas energías con un desempeño excepcional 
  • El nuevo cañón de electrones de emisión de campo Schottky logra corrientes de haz de electrones de hasta 400 nA y rápidos cambios de energía de haz
  • Inspección por MEB de obleas semiconductoras de hasta 12" por medio de cámaras de muestras con capacidades de volúmen extendidas y soportes especiales para obleas
  • TriSE™ para detección de tres diferentes señales de electrones secundarios (SE) de manera óptima en cualquier modo de operación. El detector In-Beam SE dentro de la columna permite la detección de electrones a distancias de trabajo (WD) muy cortas. Este detector en el modo de desaceleración de haz (BDM) ofrece imágenes de la más alta resolución a bajas energías. El detector SE en la cámara de muestras proporciona un excelente contraste topográfico
  • Tecnología de desaceleración de haz (BDT) para una excelente resolución a energías de haz de hasta 50 eV (opcional)
  • Tecnología Real-time In-Flight Beam Tracing™ para la optimización en tiempo real de los parámetros de haz y rendimiento
  • Modo de bajo vacío extendido con presiones de cámara de muestras de hasta 500 Pa para obtener imágenes de especímenes que no son conductores

Ultra alta resolución de 1 nm a 1 keV

La combinación única de óptica electrónica de inmersión y un modo libre de crossover resulta en extraordinaria ultra alta resolución de imágenes a bajas energías. El lente objetivo de imersión crea un campo magnético intenso alrededor de la muestra y de esta manera las aberraciones ópticas disminuyen drásticamente.  Evitando crossovers en el camino óptico de los electrones reduce el efecto Boersch y optimiza el haz de electrones para lograr una impresionante resolución de 1 nm a 1 keV. 

Imágenes a baja y ultra baja energía 

La tecnología de desaceleración de haz (BDT) consiste en el modo de desaceleración de haz (BDM) y detectores in-lens de alto rendimiento que hace posible la detección simultánea de las señales de electrones secundarios (SE) y retrodispersos (BSE) este modo. En el BDM, la energía de los electrones en el haz se disminuye antes de que impacten la superficie de la muestra por medio de una tensión de polarización negativa que se aplica al porta muestras. De esta forma, es posible lograr energías de aterrizaje de electrones de hasta 50 eV (o hasta 0 eV en modo manual).  BDM mejora el rendimiento de la columna de electrones mediante la reducción de las aberraciones ópticas a bajas energías del haz de electrones, lo que hace posible obtener haces muy finos para lograr imágenes con alta resolución espacial. El escaneo de imagenes a bajas energías es necesario para reducir o evitar que muestras no conductoras se carguen eléctricamente y también para escanear muestras que son sensibles al haz de electrones y muestras biológicas sin recubrimientos protectores. Es en este modo BDM donde se obtiene la máxima resolución espacial que a su vez se traduce en máxima sensibilidad superficial y excelente contraste topográfico y material. 
MAIA3
MAIA3

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MAIA3 Brochure
MAIA” - Newly designed ultra-high resolution electron column for superb imaging.

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