FERA3

La première source de plasma Xe au monde, entièrement intégrée avec MEB
Il permet d'obtenir des courants ioniques extrêmement élevés jusqu'à 2 μA, ce qui augmente le taux de pulvérisation ionique plus de 50 fois par rapport à la source classique de Ga. Ceci prédétermine le FERA3 pour la gravure de gros volumes de matériaux qui auraient pris beaucoup de temps ou étaient impossibles jusqu'ici.
Cette nouvelle génération de microscopes électroniques à balayage équipés d'une colonne à faisceau ionique focalisée offre aux utilisateurs les avantages de la technologie la plus récente, comme une nouvelle électronique améliorée hautement performante  permettant une acquisition d'image plus rapide, un système de balayage ultra-rapide incluant une compensation pour les aberrations d'images statiques et dynamiques ou des scripts intégrés pour les applications les plus courantes de l'utilisateur.
Ils ont été conçue en fonction d'une large gamme d'applications et de besoins FIB-MEB dans la recherche et l'industrie. Sa haute résolution aux forts courants ainsi que son logiciel performant, confèrent au MEB-FIB TESCAN des qualités d’analyses excellentes permettant de nombreuses applications dans différents domaines de la recherche et de l'industrie.

 

Optique électronique moderne

  • La conception unique du Wide Field Optics ™ avec une lentille intermédiaire (IML) propre à TESCAN offre une variété de modes de travail  incluant un mode avec un champ d'observation amélioré ou un autre avec une plus grande profondeur de champ
  • In-Flight Beam Tracing ™  en temps réel pour la performance et l'optimisation du faisceau d'electron. Cela comprend également le contrôle direct et continu des paramètres du faisceau.
  • Alignements et réglages des optiques électroniques entièrement automatisés
  • Imagerie rapide
  • L'imagerie stéréoscopique en direct, propre à TESCAN, utilisant la technologie avancée Beam 3D
  • La technologie ouvre le micro et le nanomonde pour une expérience 3D incroyable et une navigation en 3D
FERA3
FERA3

Documents à télécharger

FERA3 brochure
The world’s first fully integrated Xe plasma FIB-SEM. Download FERA3 brochure!
pdf – 1,3 MB

3D BSE reconstruction of an IC

FIB-SEM tomography of a 100 µm-diameter C4 solder bump