LYRA3

Le MEB FEG LYRA3  est une combinaison optimale d'un MEB et d'un FIB pour les utilisateurs exigeants
Il est basé sur une colonne Schottky FEG à haute résolution et une colonne FIB à haute performance.
Cette nouvelle génération de microscopes électroniques à balayage à émission de champ (série LYRA3) offre aux utilisateurs les avantages de la technologie la plus récente, comme une nouvelle électronique améliorée hautement performante  permettant une acquisition d'image plus rapide, un système de balayage ultra-rapide incluant une compensation pour les aberrations d'images statiques et dynamiques ou des scripts intégrés pour les applications les plus courantes de l'utilisateur, tout en conservant le meilleur rapport performance/prix.
La série LYRA3 a été conçue en fonction d'une large gamme d'applications et de besoins FIB-MEB dans la recherche et l'industrie. Son excellente résolution aux forts courants de faisceau s'est révélée avantageuse pour les applications analytiques telles que l'EDX, le WDX, l'EBSD, la tomographie 3D, etc. Le logiciel TESCAN transforme ces FIB-MEB en d'excellents outils pour d'autres applications, comme par exemple la lithographie électronique ou ionique, la préparation d'échantillons MET, etc.
Le microscope électronique à balayage (MEB) couplé au faisceau ionique focalisé  (FIB) LYRA3 est fabriqué sur la base des chambres XM ou GM (pour une grande capacité analytique).

Optique moderne

  • Alignements et réglages des optiques électroniques entièrement automatisés
  • Imagerie rapide
  • L'imagerie stéréoscopique en direct, propre à TESCAN, utilisant la technologie avancée Beam 3D ouvre le micro et le nanomonde pour une expérience 3D incroyable et une navigation en 3D
  • Lithographie électronique disponible à l'aide d'un Beam Blanker facultatif

Haute performance de l'optique ionique 

  • La colonne FIB CANION est un système sophistiqué à haute performance permettant l'obtention de coupe transversale rapide et précise et la préparation d'échantillons MET
  • En option, la colonne FIB COBRA à ultra haute résolution  représente le plus haut niveau de technologie en termes de résolution à la fois pour l'imagerie et la gravure. C'est l'un des instruments FIB les plus précis pour la nano ingénierie dans le monde.

Partie FIB

  • Colonne ionique avec un pompage différentiel unique, équipée de 2 pompes ioniques, pour un effet de diffusion d'ions extrêmement réduit
  • Changement de diaphragme motorisé avec une reproductibilité ultra-élevée
  • Le beam Blanker et les cages à Faraday sont inclus de manière standard
  • Imagerie MEB en simultané avec la gravure ou le dépôt  par le FIB
  • Le contrôle du FIB est entièrement intégré dans le logiciel MEB
  • Boîte à outils puissante permettant la création de formes de base avec des paramètres de processus programmables
  • Micro / nano usinage
  • Lithographie ionique
LYRA3
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LYRA3 brochure
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