FIB-REM

Focused-Ion-Beam-Rasterelektronenmikroskope (FIB-REM) kombinieren den Elektronenstrahl der REM und den Ionenstahl eines FIB in einem System. Die Elektronenoptik des REM liefert hochauflösende Abbildungen einer Probe, während die FIB-Säule die Modifikation einer Probe ermöglicht. Solch ein Dual-Beam-FIB-REM-System eröffnet eine Reihe von Möglichkeiten und Anwendungen, wie sie mit zwei Einzelgeräten nicht möglich wären.
FIB-REM-Systeme sind so konfiguriert, dass sich Elektronen- und Ionenstrahl in einem Koinzidenzpunkt überschneiden, was zur Optimierung vieler Anwendungen führt. Der Koinzidenzpunkt ermöglicht gleichzeitigen Abtrag durch das FIB-System und Abbildung durch das REM. Daraus resultiert eine signifikante Verbesserung für die Leistungsfähigkeit und den Durchsatz für Anwendungen, bei denen es auf äußerste Präzision ankommt.

Das TESCAN Portfolio an FIB-REM-Systemen umfasst LYRA3- und GAIA3-Systeme mit Gallium-FIB für hochpräzise, anspruchsvolle Abtragsarbeiten, als auch FERA3- und XEIA3-Systeme mit Xenon-Plasma-FIB für umfangreiche Milling-Anwendungen (50x schneller als herkömmliche Gallium-FIB). Für FERA3- und XEIA3-Systeme bieten wir alternativ das neuentwickelte und hochauflösende Xenon-Plasma HR iFIB mit einer Auflösung unterhalb von 15 nm an.

 

Modellreihen:

  • LYRA3: FIB-REM (mit CANION- oder COBRA-Ionensäule)
  • GAIA3: UHR FIB-REM (mit COBRA-Ionensäule)
  • FERA3: Xe-Plasma-FIB-REM (mit iFIB- oder HR iFIB-Ionensäule)
  • XEIA3: UHR Xe-Plasma-FIB-REM (mit iFIB- oder HR iFIB-Ionensäule)
  • S8000G: Feldfreies UHR FIB-REM (mit Orage™ Ga-Ionensäule)

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