Die 4. Generation des TESCAN MIRA Rasterelektronenmikroskops (REM) ist mit einer FEG Schottky Elektronenemissionsquelle ausgestattet. Es kombiniert die REM-Bildgebung mit einer Live-Analyse der Zusammensetzung Ihrer Proben zeitgleich in einem einzigen Anwendungsfenster der TESCAN-Software Essence™. Diese Kombination vereinfacht erheblich die Erfassung von morphologischen, als auch elementspezifischen Daten Ihrer Probe. MIRA SEM zu einer effizienten analytischen Lösung für die routinemäßige Materialprüfung in der Qualitätskontrolle, der Fehleranalyse und in Forschungslabors.
- Analytische Plattform mit vollständig integriertem TESCAN Essence™ EDS, welche die REM-Bildgebung mit der Analyse der Elementzusammensetzung effizient in einem einzigen Essence™ Software-Fenster kombiniert.
- Optimale Abbildungs- und Analysebedingungen sofort verfügbar. Dank des einzigartigen blendenlosen Designs und des TESCAN In-flight Beam Tracing™.
- Mühelose und präzise REM-Navigation auf der Probe bei bis zu 2-facher Vergrößerung, ohne dass eine zusätzliche optische Navigationskamera erforderlich ist, dank des einzigartigen Wide Field Optics™ Designs.
- SingleVac™ Modus als Standardfunktion zur Betrachtung von energie- und strahlungsempfindlichen Proben.
- Intuitive und modulare Essence™ Software, die für eine mühelose Bedienung unabhängig von der Erfahrungsstufe des Benutzers entwickelt wurde.
- Die ultimative Sicherheit für die in der Kammer montierten Detektoren. Bei Bewegung von Tisch und Probe wird mit dem Essence™ 3D-Kollisionsmodell immer der minimale Sicherheitsabstand gewährleistet.
- Optional sind in der Säule integrierte SE- und BSE-Detektoren erhältlich, einschließlich der Beam Deceleration Technology zur Verbesserung der Bildgebungsleistung bei niedrigeren Beschleunigungsspannungen.
- Modulare Analyseplattform, die optional mit der grösstmöglichen Auswahl an voll integrierten Detektoren (z.B. CL, wassergekühltes BSE- oder RAMAN-Spektrometer) ausgestattet werden kann.
-
- Corroded NiP coating imaged at 3 keV with SE(BDM) detector
-
- Essence EDS – mapping in live SEM window
-
- Microinclusions imaged with LE In-Beam BSE detector at 3 keV
-
- TiO2 nanoparticles imaged with SE detector at 10 keV